Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1060 #293643642 zu verkaufen
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ID: 293643642
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1993
PVD Sputtering system, 8"
1993 vintage.
CANON/ANELVA ILC-1060 Sputteranlagen sind ein vielseitiges und effizientes Sputtersystem zur Herstellung und Abscheidung von Dünnschichtmaterialien. Es basiert auf einem modularen Design mit mehreren Netzteilen, Kühlkörpern und Sputterzielen. Das Gerät übertrifft andere ähnliche Systeme in Bezug auf Geschwindigkeit und Leistung, was eine schnellere Verarbeitung und höhere Präzision ermöglicht. Die Glockenkammer aus Edelstahl ist in der Lage, eine Vielzahl von Konfigurationen unterzubringen, einschließlich Dual-Deposition und planare Ziele. CANON ILC-1060 verfügt über mehrere Dual-Achsen-Bewegungssteuerungssysteme, die eine präzise Abscheidungssteuerung ermöglichen, sowie eine hochauflösende optische Ebenheitssteuerungsmaschine, die eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung gewährleistet. Die integrierten Prozessleitsysteme des Tools überwachen den Abscheideprozess und sorgen für optimale und konsistente Ergebnisse. Die Substratheizung ist in der Lage, Wärme bis zu 1500C zu liefern, so dass es geeignet für die Verarbeitung einer breiten Palette von Dünnschichtmaterialien. ANELVA ILC 1060 ist mit einem vierkanaligen Gasverteilungsmodell ausgestattet, mit dem bis zu vier Gase in die Kammer eingeleitet werden können, was eine Vielzahl von Prozessen und Konfigurationen ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über eine digitale Druckgassteuerung, die für die Nieder- oder Hochdruckprozesssteuerung eingestellt werden kann und eine präzise und gleichmäßige Abscheidung ermöglicht. CANON/ANELVA ILC 1060 umfasst auch komplette Diagnosefunktionen, so dass Benutzer mögliche Probleme oder Abweichungen während des Betriebs überwachen und diagnostizieren können. Es bietet auch eine automatisierte Rezeptverwaltung, so dass Benutzer schnell und einfach zwischen verschiedenen Prozessrezepten wechseln können, ohne jeden Parameter jedes Mal manuell einzustellen. ANELVA ILC-1060 ist eine zuverlässige, leistungsstarke und effiziente Sputtermaschine, die es Anwendern ermöglicht, Dünnschichtmaterialien mit Geschwindigkeit und Präzision zu produzieren und abzulegen. Der modulare Aufbau, die zweiachsige Bewegungssteuerung und die volle Diagnosefähigkeit machen es zu einem überlegenen Werkzeug für eine breite Palette von Dünnschichtabscheidungsanwendungen.
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