Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1060 #293749178 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILC 1060 ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen in der Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Dieses System ist in der Lage, einen aus einem Edelgas wie Argon, Krypton und Xenon erzeugten Ionenstrom einem Zielmaterial, typischerweise einem Metall oder einer Keramik, zuzuführen. Der Ionenbeschuss hilft dabei, Atome des Zielmaterials abzustreifen und in Form eines dünnen Films auf das Substrat abzuscheiden. Bei CANON ILC 1060 wird eine indirekte lineare Kaskadenkonfiguration (DC) genutzt, um der Sputtersäule ein Spannungspotential aufzubringen und dadurch ein geladenes Edelgasplasma zu erzeugen. Das ANELVA ILC-1060 Gerät bietet eine breite Palette von Leistungs-, Spannungs- und Durchflussmengeneinstellungen, um die Sputterleistung genau zu steuern. Die Stromquelle umfasst eine Lichtbogenkern-Gleichstromversorgung und ein DC-Magnetron-Sputtermagnetfeld. Für eine hohe Abscheidung und verbesserte Sputterausbeute sind die externen Magnetfeldeinstellungen über einen weiten Dynamikbereich einstellbar. Die Hochfrequenzgeneratoren der Vorrichtung ermöglichen eine Frequenzmodulation des Prozesses, um einen stabilen Plasmazustand aufrechtzuerhalten. ILC 1060 Maschine enthält auch erweiterte Abscheidungsprozesssteuerungen für die Präzisionsabscheidung von Dünnfilmbeschichtungen. Es ist mit einem mehrkanaligen Temperaturmonitor zur Steuerung der Substrat- und Zieltemperaturen sowie einem mehrzonigen Umgebungsüberwachungswerkzeug ausgestattet, um Veränderungen in der Umgebung zu erkennen und einen automatischen Abschaltvorgang auszulösen, um Kontaminationen bei Bedarf zu vermeiden. Um Wiederholbarkeit und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten, ist ANELVA ILC 1060 auch mit präzisen Ziel- und Substratabstands- und Neigungssteuergeräten konzipiert, die eine präzise Gleichmäßigkeit bei der Materialabscheidung ermöglichen. Die Steuerkonsole überwacht und zeichnet während des gesamten Prozesszyklus sowohl Vakuumparameter als auch Prozessparameter genau auf. Zusammenfassend ist CANON/ANELVA ILC-1060 eine hochentwickelte Sputteranlage, die den Anforderungen derjenigen gerecht wird, die hohe Produktionsniveaus genauer, wiederholbarer und zuverlässiger Dünnschichtbeschichtungen erfordern. Seine fortschrittlichen Strom-, Spannungs-, Durchfluss- und Abscheidungsprozesssteuerungen, sein Mehrzonen-Umgebungsüberwachungsmodell und seine genauen Abstands- und Neigungssteuergeräte tragen dazu bei, jedes Mal eine qualitativ hochwertige Abscheidung sicherzustellen.