Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1060 #9248133 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILC 1060 ist eine Sputteranlage für den Einsatz in einer Vielzahl von wissenschaftlichen und industriellen Anwendungen. Es ist ein computergesteuertes, vakuumbasiertes System, das mit physikalischer Aufdampfung dünne, gleichmäßige Materialschichten auf ein Substrat aufbringt. CANON ILC 1060 ist hochadaptiv und kann zur präzisen Manipulation von Sputter-Zielzusammensetzung und -strom, Abscheidungsrate, Fluenz, Substratvorspannung und anderen Variablen programmiert werden. Sein modularer Aufbau ermöglicht einen hohen Produktionsdurchsatz und seine überlegene Prozesssteuerung und Automatisierung ermöglicht wiederholbare, vorhersehbare Ergebnisse. Die primären Komponenten von ANELVA ILC-1060 umfassen eine Drehsputterquelle, einen Substrathalter und ein drehbares Target. Die Drehsputterquelle verwendet zwei Geschütze, die jeweils bogen- und gleichstromentladungsfähig sind. Der Substrathalter, der Substrate bis zu einer Größe von 450 mm aufnehmen kann, ist in der Lage, bis zu vier Substrate gleichzeitig zu halten. Die drehbare Zielsputterfläche kann Sputterziele mit einem Durchmesser von bis zu 200mm halten. Für eine erweiterte Zielflächenabdeckung stehen optional ein Winkelziel und eine Platte zur Verfügung. ILC-1060 bietet eine Vielzahl von Sputterprozessen, einschließlich Argon-Plasma und reaktives Gassputtern, und seine Prozesssteuerung ist hoch anpassbar, um die Bedürfnisse verschiedener Endbenutzer zu erfüllen. Ein primäres Steuermodul kann so programmiert werden, dass Sputterzielzusammensetzung und Strom, Abscheidungsrate, Fluenz und Substratvorspannung präzise manipuliert werden. Das optionale sekundäre Steuermodul ermöglicht die Manipulation solcher Prozessparameter wie Reaktivgasdurchfluss, Kammerdruck und Schichtdicke. Dieses Modul kann gesperrt werden, um unbefugte Manipulationen zu verhindern. CANON ILC-1060 ist flexibel und wirtschaftlich und somit eine attraktive Wahl für zahlreiche Anwendungen. Die kompakte Stellfläche und das energieeffiziente Design minimieren den Platzbedarf und maximieren die Kosteneinsparung. Hochrangige Sicherheitssysteme und automatische statistische Prozesskontrolle erhalten Produktionsqualität und Zuverlässigkeit. Am Ende des Prozessablaufs prüft eine Nachbearbeitungs-Vision die fertiggestellten Teile auf mögliche Prozessfehler und sorgt für Genauigkeit. Insgesamt ist ILC 1060 eine branchenführende Sputtermaschine, die sich für eine breite Palette von wissenschaftlichen und industriellen Anwendungen eignet. Seine zuverlässige Leistung, überlegene Prozesssteuerung und einstellbare Einstellungen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für eine präzise und effiziente Abscheidung dünner Materialschichten auf Substraten oder Wafern.