Gebraucht CANON / ANELVA L-210H-WS #9055191 zu verkaufen

CANON / ANELVA L-210H-WS
ID: 9055191
Weinlese: 2000
Dry etcher Load lock type Method: RIE Pumping system:(2) R/P, (1) TMP Gases: O2, CF4, Ar, CHF3, C4F8, SF8 2000 vintage.
CANON/ANELVA L-210H-WS Sputtergeräte sind ein vielseitiges Abscheidungswerkzeug zum Aufbringen von Dünnschichtmaterialien auf Substraten. Das Sputtersystem besteht aus zwei Hochleistungs-Magnetronquellen und einer einzigen Arbeitsstufe. Die Magnetronquellen erzeugen Elektronen, die durch eine Hochspannungsversorgung beschleunigt werden. Die beschleunigten Elektronen bombardieren dann ein Zielmaterial und übertragen Material durch ionisierte Partikel auf das Substrat, wodurch ein dünnschichtbeschichtetes Substrat entsteht. CANON L-210H-WS Sputtereinheit ist mit zwei HF-Magnetron-Sputterquellen ausgestattet und verfügt über eine Evakuierungskammer mit einem maximalen Druck von 10-4 Pa. Die Maschine hat einen Temperaturbereich von 25 ° C bis 350 ° C und verfügt über einstellbare Druck-, Leistungs- und Spannungseinstellungen. Es enthält ein Staubfiltrationswerkzeug, um das Gut vor Verunreinigungen zu schützen, und enthält auch ein integriertes Kühlmodell, um einen sicheren und effizienten Betrieb zu gewährleisten. ANELVA L-210H-WS stotternde Ausrüstung kann für eine breite Reihe von Anwendungen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf dünnes Filmsilikon Oxyd/Silikon Karbid des Nitrids/Silikons (SiOx/SiNx/SiCx) Filme, Absetzung von Kupferoxid (CuO), Kupferzinn (CuSn), Titanoxyd (TiO2) und Chrom (Cr) Filme, Festklebenschichtenüberzüge, und mehr verwendet werden. Dieses Sputtersystem ist auch in der Lage, Metalle und Leiter, wie Aluminium (Al), Kupfer (Cu) und Nickel (Ni), zu verschiedenen Schichten abzuscheiden. L-210H-WS Sputtereinheit ist eine High-Tech und Hochleistungsmaschine, die intuitiv, einfach zu bedienen und zuverlässig ist. Das Tool integriert die neuesten Technologien wie Remote-Joystick-Betrieb, Hochleistungs-Kammer Evakuierung Asset, programmierbare Rezeptprogrammierung, Fehleralarm-Funktion und einfache Wartung. Darüber hinaus bietet das Modell eine präzise Prozesskontrolle für reproduzierbare Ergebnisse, die eine zuverlässige und konsistente Dünnschichtabscheidung gewährleistet. Insgesamt ist CANON/ANELVA L-210H-WS Sputterausrüstung ein fortschrittliches und leistungsstarkes Abscheidungswerkzeug zum Abscheiden von Filmen auf Substraten, das eine überlegene Dünnschichtqualität, eine hohe Auflösung und eine präzise Prozesskontrolle ermöglicht. Es eignet sich aufgrund seiner hohen Leistungsfähigkeit für Forschung und Entwicklung, Messtechnik, Rapid Prototyping und Nanotechnologie. Seine intuitive benutzerfreundliche Oberfläche und erweiterte Funktionen machen es zu einer guten Wahl für alle Arten von Dünnfilm-Abscheidungsanwendungen.
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