Gebraucht CANON / ANELVA L-430S-FHL #9107299 zu verkaufen

ID: 9107299
Sputtering system, 1998 vintage.
CANON/ANELVA L-430S-FHL ist eine Sputteranlage zur Beschichtung der Oberflächen von Materialien mit einer dünnen Schicht aus Metall oder anderem Material. Es ist weit verbreitet in Branchen wie Halbleiter, Automobil, Luft- und Raumfahrt, medizinische Geräte, Optik und erneuerbare Energie. Die Maschine besteht aus einer kompakten vorderen Stützeinheit, einer unabhängigen hinteren Plattform, einer oberen Plattform für den Substrat- (Werkstück-) Transport und zwei Ionenquellenarmen. Es ist mit einem vierachsigen automatischen Sputterquellenausrichtsystem, drei unabhängigen Drehzielhaltern, einer In-situ-Pumpeinheit für den Ultrahochvakuumbetrieb (UHV) und einem automatisierten Probenverschlussmechanismus ausgestattet. Die Sputterquelle bietet hohe Leistung und Gleichmäßigkeit der Beschichtung und ist in der Lage, bis zu vier verschiedene Materialien zu beschichten. Die Maschine ist hocheffizient und mit einem schnell abtastenden Laserinterferometer ausgestattet, das eine präzise Sputterzielverfolgung und -ausrichtung ermöglicht. Die Schnellabtastfunktion sorgt für eine überlegene Gleichmäßigkeit von Sputterfilmen. CANON L-430S-FHL bietet auch hohe anhaltende Abscheidungsraten und wird bei Drücken unter 3,0x10-4 Torr bewertet. Das Werkzeug ist in der Lage, die Abscheiderate, den Sputterwinkel, die Ionenkonzentration und den Elektrodenstrom genau zu steuern, um die Prozessergebnisse zu optimieren. ANELVA L-430S-FHL ist auch mit einer breiten Palette von Funktionen konzipiert, um die Sicherheit des Benutzers während des Betriebs zu gewährleisten. Die Maschine hat eine zweistufige Lichtbogensteuerung, automatisches Türschließen, Fernbedienungsknopf, Erdungskabel, Feuerlöscher und andere Sicherheitsmerkmale. Die Maschine hat ein einfach zu bedienendes Design und ist mit mehreren Datenerfassungs- und Überwachungssystemen ausgestattet, um eine genaue Prozessverfolgung und optimierte Prozesssteuerung zu ermöglichen. Die Maschine wurde auch für die Verbindung mit Fertigungssystemen entwickelt, um automatisierte Produktionsprozesse zu erleichtern. Insgesamt ist L-430S-FHL ein fortschrittliches Sputter-Asset, das Anwendern eine optimale Filmabscheidungsleistung auf einer Vielzahl von Substraten und Materialien bietet. Es ist auf Präzision und Genauigkeit in Verbindung mit Sicherheit und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt. Diese Einheit ist ideal für Anwendungen wie Forschung und Entwicklung, Produktionssputtern von optischen Filmen und Prozessoptimierung.
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