Gebraucht CANON / ANELVA SPC-530H #9111244 zu verkaufen

CANON / ANELVA SPC-530H
ID: 9111244
Sputtering systems.
CANON/ANELVA SPC-530H ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung zur Abscheidung von dünnen Folien. Es ist mit einer 500 W, Hochfrequenz (RF) Sputter-Stromversorgung und einer Niederdruck-Gleichstrom (DC) Glühentladungs-Stromversorgung ausgestattet. CANON SPC-530H System bietet eine hervorragende Prozesssteuerung durch eine Echtzeit-Mikroprozessor-basierte Einheit, die die Sollwerte für Sputterrate, Glühentladungsbedingungen und Verweilzeit zwischen Zyklen überwacht und steuert. Das Sputternetzteil arbeitet über einen weiten Frequenzbereich (50-4.000 kHz) und kann Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 "verarbeiten. ANELVA SPC-530H Maschine ist für schnelle Sputterabscheidung und schnelle Materialübertragung von und zur Sputterkammer ausgelegt. SPC-530H Tool bietet eine breite Palette von Sputterprozessen in einem einzigen Asset, einschließlich Ionenstrahlätzen, reaktives Ionenätzen, Tensidabscheidung, Verdampfung und Magnetronsputtern. Seine Flexibilität und Skalierbarkeit ermöglichen eine breite Palette von Substraten und Sputterparametern. CANON/ANELVA SPC-530H Modell beinhaltet ein einstellbares Kammerdruckregelgerät, das eine präzise Steuerung der Prozessparameter wie Abscheiderate und Filmdicke ermöglicht. Darüber hinaus unterstützt CANON SPC-530H ein Auto-Clean und Auto-Drifter-Features, die längere Abscheidezeiten und schnellere Abscheideraten ermöglichen. ANELVA SPC-530H Einheit kann eine breite Palette von Filmtypen herstellen, von Oxidfilmen bis hin zu Hochtemperatur-Halbleiterdielektrika. Sein breites Spektrum an Sputterverfahren ermöglicht eine Feinabstimmung der Abscheiderate, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus verfügt SPC-530H Maschine über eine einzigartige Hochtemperatur-Substrat-Heizmöglichkeit, die das Abscheiden von Folien mit überlegenen Eigenschaften ermöglicht. Zusätzlich unterstützt das Werkzeug die Inline-optische Inspektion, die eine Qualitätskontrolle der hergestellten Folien ermöglicht. CANON/ANELVA SPC-530H Asset ist auf langfristige Nutzung und Zuverlässigkeit ausgelegt. Die geschlossene Verarbeitung sorgt für Präzisionsmessungen und eine enge Prozesssteuerung. Die automatisierten Verfahren zur Kammerwartung und -reinigung erübrigen manuelle Anpassungen und senken die Prozesskosten. Darüber hinaus ermöglicht die benutzerfreundliche Software und grafische Oberfläche eine einfache und effiziente Kontrolle der Funktionen des Modells. Insgesamt ist CANON SPC-530H eine vielseitige und zuverlässige Sputterausrüstung für die Hochleistungsabscheidung von dünnen Folien. Sein breites Spektrum an Sputterprozessen, begleitet von fortschrittlichen Funktionen wie Auto-Clean und Auto-Drifter, ermöglicht eine schnelle und präzise Abscheidung von dünnen Filmen mit ausgezeichneter Reproduzierbarkeit. Darüber hinaus verfügt das System über eine einzigartige Heizmöglichkeit für Hochtemperatursubstrate, die die Abscheidung von Hochtemperaturfilmen mit überlegenen Eigenschaften erleichtert. Das Gerät unterstützt die Hochgeschwindigkeitsabscheidung und eignet sich somit für die Herstellung von dünnen Folien mit präzisen und wiederholbaren Ergebnissen. Darüber hinaus ermöglicht seine benutzerfreundliche Oberfläche eine schnelle und einfache Kontrolle der Funktionen der Maschine.
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