Gebraucht CANON / ANELVA SPF-210H #9284046 zu verkaufen

CANON / ANELVA SPF-210H
ID: 9284046
Weinlese: 1995
Sputtering system 1995 vintage.
CANON/ANELVA SPF-210H Sputteranlagen sind ein hocheffizientes System zur Herstellung dünner Folien, Oxide und mehrschichtiger Strukturen. Es verwendet eine hochfrequente HF-Stromquelle, um ein Zielmaterial mit einem Inertgas zu beschichten. Auf das Substrat wird eine Gleichspannungsvorspannung aufgebracht, um einen einheitlichen Film zu erzeugen. CANON SPF-210H besteht aus einer Hauptkammer, einem Target, zwei Stromversorgungen, einem Gleichstromnetzteil, einer Magnetronentladungsquelle und einer Vakuumkammer. Die Hauptkammer ist temperaturgeregelt, um eine gleichmäßige Filmabscheidung zu gewährleisten. Das Targetmaterial, wie Aluminium oder anderes Metall, wird durch Hochleistungsmagnete, die als Magnetflasche wirken, in der Sputterkammer gehalten. Dies ermöglicht ein großflächiges und gleichmäßiges Zielsputtern. Die Oberfläche des Targets wird durch ein hochfrequentes Hochfrequenz-HF-Signal, das Sputtern verursacht, oder eine Plasmaablösung von Zielmaterial bombardiert. Das Signal wird von einer Magnetronentladungsquelle erzeugt. Das Vier-Quadranten-Gleichspannungsnetzteil sorgt für hohe Abscheideraten. Zerstäubte Partikel bleiben geladen und die Gleichspannungsvorspannung dient als Beschleuniger, der geladene Partikel in das Substrat schiebt. Das Substrat wird in die Kammer gelegt und die Temperaturen werden beibehalten, um eine gleichmäßige und robuste Filmabscheidung zu gewährleisten. Die Kammer ist eine Vakuumkammer, die auf 1 Torr heruntergepumpt wird, um einen hochwertigen Folienabscheidungsprozess zu ermöglichen. ANELVA SPF-210H verwendet auch eine hocheffiziente Pumpeinheit, um den Druck der Kammer während des Sputtervorgangs aufrechtzuerhalten. Außerdem wird das eingespritzte Gas gut gemischt und konstant gehalten, wodurch reproduzierbare und zuverlässige Folien entstehen. SPF-210H ist ideal für die Herstellung von Oxid- und Mehrschichtfolien. Es ist eine kompakte und einfach zu bedienende Sputtermaschine, die wenig Wartung erfordert und in der Lage ist, großflächig einheitliche, robuste Folien zu produzieren, ohne dass aufwendige Polierverfahren erforderlich sind. CANON/ANELVA SPF-210H eignet sich hervorragend für viele Anwendungen, darunter Sputtern verschiedener Metalle, transparente Leiter, keramische Materialien und optisch dünne Filme.
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