Gebraucht CANON / ANELVA SPF-210H #9382541 zu verkaufen

CANON/ANELVA SPF-210H ist eine Trockensputteranlage für Dünnschichtabscheidungsprozesse. Das System ist ideal für Anwendungen wie die Herstellung optoelektronischer Komponenten, Flachbildschirme und Dünnschichtmagnetköpfe. Diese Sputtereinheit verfügt über einen 1,000-W einfrequenten Leistungsverstärker, der in der Lage ist, verschiedenste Materialien zu zerstäuben. Die Maschine ist mit einer Hochvakuumkammer umschlossen, die ein Vakuumniveau von 10-6 Pa (10-7 Torr) erreichen kann. Darüber hinaus verfügt CANON SPF-210H über eine vollautomatische Anodenanordnung, eine Probenstufe mit einer 2-Achsen-Bewegung, einen Hochfrequenzgenerator (RF) und einen Plasma-Monitor. Alle diese Komponenten werden über eine Rechnerschnittstelle gesteuert. Die Anodenanordnung besteht aus einem in der Kammer befestigten Mittelstab und 4 Gegenelektroden. Es verfügt auch über einen Wasserkühlmechanismus, der bei der Minimierung der Partikelproduktion hilft. Die Probenstufe ist auf einer linearen Bewegungsführung montiert und hat einen Bereich von 10 mm x 10 mm. Der HF-Generator besteht aus einer Induktionsspule und einer LC-gekoppelten Schaltung. Auf diese Weise kann das Werkzeug Materialien mit minimaler Beschädigung des Substrats oder des abzuscheidenden Materials sputtern. Der Plasmamonitor ist in der Lage, die Plasmaparameter wie Leistungsdichte, Elektronentemperatur und Elektronenzahldichte zu messen. Dies hilft dem Asset, ein homogenes Abscheidungsprofil zu erzielen. Darüber hinaus ist ANELVA SPF-210H mit einem Arc Damage Prevention Model (ASDS) ausgestattet. Dieses Gerät hilft, die Proben vor möglichen Schäden zu schützen, indem es die Lichtbogenspannung reduziert und Hochfrequenzbögen verhindert. SPF-210H ist ein zuverlässiges und effizientes Sputtersystem, das für verschiedene Abscheideprozesse eingesetzt werden kann. Seine automatisierten Funktionen und fortschrittlichen Überwachungssysteme machen es einfach zu bedienen und bieten überlegene Ergebnisse. Es ist die vollkommene Lösung für irgendwelche Dünnfilmabsetzungsprozessvoraussetzungen.