Gebraucht CANON / ANELVA SPF-312 #9299212 zu verkaufen

CANON/ANELVA SPF-312 ist eine Multifunktions-Sputterausrüstung, die in Dünnschichtabscheidungstechniken verwendet wird. Das System wurde entwickelt, um eine präzise und effiziente Kontrolle über Dünnschichtabscheidungsprozesse zu ermöglichen, einschließlich Sputtern, Verdampfen und reaktives Sputtern. CANON SPF-312 bietet eine Vielzahl von Funktionen, die in der Lage sind, eine überlegene Kontrolle über die Filmqualitäten zu liefern, einschließlich Dicke, Zusammensetzung und Gleichmäßigkeit. Diese Sputtereinheit verfügt über ein 300mm x 4-Zoll-Durchmesser kreisförmige oder quadratische rotierende Kathode Ziel. Das Circular Target wird erhitzt und gekühlt, um die Qualität und Effizienz der Folie genauer zu kontrollieren. Das Target ist von einem zweistufigen Magnetfeld umgeben, das einstellbar ist, um eine homogene Zerstäubungsrate zu ermöglichen. Die gleichmäßige Zerstäubungsrate wird durch die Kombination von DC- und HF-Quellen erreicht, die präzise und gleichmäßige Leistung für das Ziel liefern. Das in ANELVA SPF-312 eingesetzte Gas wird je nach Anwendungsfall ausgewählt und kann aus Ar, Ar/O2, Ar/N2, Ar/O2/H2 oder einem Inertgas mit zusätzlichen Additiven bestehen. Die Maschine verfügt auch über eine ganze Reihe von einstellbaren Druck am Substrat, die von einigen Millitoren bis 1 Torr reichen kann. Dieser große Bereich einstellbarer Drücke ermöglicht eine präzise Regelung des Drucks während des Abscheideprozesses. SPF-312 ist mit einem Prallwerkzeug ausgestattet, das angepasst werden kann, um Turbulenzen für eine gleichmäßigere Abdeckung des Ziels zu erzielen. Das Prallgut dient auch zum Schutz vor Erosion des Ziels durch verdampftes Material. Das Modell ist in der Lage, Hochgeschwindigkeitsabscheidungsraten von bis zu 1.000 Å/h, mit Gleichmäßigkeiten von 5% oder weniger. Diese Multifunktions-Sputterausrüstung ist für die Verwendung in einer Vielzahl von Anwendungen konzipiert, wie z. B. die Bereitstellung von Beschichtungen auf Brotplatten, Solarzellen, Halbleitern, LCD- und OLED-Display, Glas und verschiedenen keramischen Materialien. Es kann auch zur Herstellung von Metall und anderen Dünnschichtauftragsschichten auf Substraten mit der entsprechenden Plasmaaktivierung verwendet werden. Das System kann auch zur Herstellung mehrerer Schichten dünner Filme unter Kontrolle der Dicke, Zusammensetzung und Eigenschaften der Folie verwendet werden. Insgesamt ist CANON/ANELVA SPF-312 eine multifunktionale Sputtereinheit mit einer breiten Palette von Eigenschaften und Fähigkeiten, die es gut für Dünnschichtabscheidungsprozesse geeignet machen. Mit seiner einstellbaren Kathode, dem Magnetfeld und dem einstellbaren Druck ist es eine zuverlässige und robuste Sputtermaschine, die überlegene Filmqualität und Gleichmäßigkeit bieten kann.