Gebraucht CANON / ANELVA SPF-410H #9048859 zu verkaufen
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CANON/ANELVA SPF-410H ist eine hochpräzise Sputteranlage, die für die Herstellung von Dünnschichtbeschichtungen auf einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Das System besteht aus vier Hauptkomponenten: einer Hauptkammer, einer Stromversorgung, einer Magnetronpistole und verschiedenen Detektoren. Die Hauptkammer ist die Kammer, in der das zu beschichtende Substrat oder Material angeordnet ist. Die Kammer ist mit einer Inertgasversorgung und einer Vakuumüberwachungs- und Steuereinheit ausgestattet. Die Stromversorgung ist das Bauelement, das die Spannung zur Erzeugung eines Plasmas liefert. Die Stromversorgung ist auf ein bestimmtes Niveau eingestellt, um sicherzustellen, dass die Plasmadichte für den Sputtervorgang geeignet ist. Die Magnetronpistole ist die Komponente in der Maschine, die ein intensives Magnetfeld erzeugt, so dass die Ionen einen Weg durch das Vakuum zu bewegen. Die verschiedenen Detektoren messen die Plasmadichte, den Ionenfluss und andere Parameter, die überwacht werden müssen. Das Werkzeug verfügt über eine variable Stromquelle, wodurch es für verschiedene Arten von Sputterprozessen geeignet ist. Die Stromversorgung kann zwischen 0 und 2000V erzeugt werden und kann auf verschiedene Frequenzen von DC bis 120 KHz eingestellt werden. Dadurch kann es in Prozessen wie Reaktivsputtern, Ionendampfabscheidung und kathodischer Lichtbogenverdampfung eingesetzt werden. Die Vielseitigkeit von CANON SPF-410H macht es zu einer geeigneten Wahl für viele verschiedene Anwendungen. Die überlegene Vakuum- und Plasmastabilität der Anlage ermöglicht die Verwendung in Prozessen wie optischen Beschichtungen, Halbleiterherstellung und Dünnschichtabscheidung. Durch die hohe Genauigkeit des Modells kann es auch für Präzisionssputterverfahren wie MEMS, Halbleiterbauelemente und Photodetektoren eingesetzt werden. Der Langzeitbetrieb der Geräte wird durch eine Reihe von Rückkopplungssensoren aufrechterhalten. Diese ermöglichen die Einstellung des Kammerdrucks zur Aufrechterhaltung der gewünschten Abscheiderate, die Einstellung der Plasmendichte zur Vermeidung von Kontaminationen und die Auswertung des Zielbereichs zur Überwachung des Betriebs des Systems. ANELVA SPF-410H bietet ein breites Spektrum an Funktionen und sorgt für eine zuverlässige und präzise Sputtereinheit. Die leistungsstarke Stromversorgung der Maschine, die überlegene Vakuum- und Plasmastabilität sowie vielseitige Detektoren machen sie zu einer geeigneten Wahl für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen.
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