Gebraucht CANON / ANELVA SPF-430 #9122965 zu verkaufen

CANON/ANELVA SPF-430 ist eine Multifunktions-Sputterausrüstung, die in Zusammenarbeit zwischen CANON und Toyota Central Research Lab. entwickelt wurde. Es ist ein vielseitiges Werkzeug, das in der Lage ist, homogene und gerichtete Beschichtungen von Materialien auf Substraten bei Ultrahochvakuum und atmosphärischem Druck är. Die Kammer von CANON SPF-430 hat eine Kapazität von 450 Litern und ist für eine Vielzahl von Sputteranwendungen wie Mehrschichtsysteme, Röntgenspiegel und Sensoren konzipiert. Die Kammer selbst ist hybrid gestaltet und bietet sowohl ultrahohe als auch atmosphärische Sputtertechnologie. Es ist aus Edelstahl mit integrierter Kryopumpe und B-DTE-Rohr für eine verbesserte Wärmeableitung. Die Grundplatte, die Kammer, die Sputterkathode und andere Komponenten wurden speziell für die beste Leistung im Hochvakuumsputterbetrieb entwickelt und optimiert. ANELVA SPF-430 ist in der Lage, Magnetronsputtern, SIMS-Implantation und thermische Verdampfung. Das System ist in der Lage, eine lange Dauer des Dauerbetriebs, so dass Rückseite Sputtern möglich. Darüber hinaus unterstützt es die zwei- und dreiachsige chemische Dampfabscheidung und die Fähigkeit, Substrate zu drehen, was sich besonders für die Herstellung von Mehrschichtsystemen eignet. Die Einheit hat auch ein einzigartiges Merkmal für eine verbesserte Haftung des abgeschiedenen Materials auf dem Substrat. Dies geschieht durch Anlegen einer Hochspannung an das Target vor dem Sputtern - das sogenannte Pre-Sputtering -, wodurch das Material enger an der Substratoberfläche haften kann. SPF-430 umfasst eine computergesteuerte Datenerfassungsmaschine, die die Daten aus jedem Sputtervorgang aufzeichnet und speichert. Diese Daten sind entscheidend für die Analyse des Betriebs des Werkzeugs und seiner Gesamtleistung. Darüber hinaus umfasst die Anlage eine Sicherheitssteuerschaltung, die den Druck, die Temperatur und andere Parameter überwacht und das Modell abschaltet, wenn es Unregelmäßigkeiten erkennt. Insgesamt ist CANON/ANELVA SPF-430 eine äußerst effiziente und leistungsfähige multifunktionale Sputteranlage mit für viele Oberflächenbeschichtungsanwendungen geeigneten Eigenschaften. Seine Fähigkeit, eine breite Palette von Operationen auszuführen, verbunden mit seiner langen Dauer des Dauerbetriebs und robusten Sicherheitsmerkmalen, machen es zu einer idealen Wahl für viele industrielle Prozesse.