Gebraucht CANON / ANELVA SPF-510 #9148249 zu verkaufen

CANON/ANELVA SPF-510 ist ein fortschrittliches Dünnfilm-Abscheidungsgerät für die Sputterabscheidung von Metall- und dielektrischen Dünnfilmen. Das System ist sowohl für die Dünnschichtabscheidung auf ebenen als auch gekrümmten Oberflächen optimiert. CANON SPF-510 verfügt über eine UHV-Kammer mit einer 6 „kreisförmigen Abscheidungsfläche und vier 1“ MN-Quellpistolen. Das Aggregat ist in der Lage, Dünnschichtabscheidung mit hohem Durchsatz mit Prozesstemperaturen bis 800 ° C abzuscheiden. Die Maschine ist für den Einsatz in einer Vielzahl von wissenschaftlichen Forschungsbereichen konzipiert, einschließlich Materialwissenschaft, Mikroelektronik, MEMS/NEMS und Dünnschichtsolarzelle. ANELVA SPF-510 verfügt über ein hochreines Pumpwerkzeug mit einem Vollmetall-Schieberventil, das einen niedrigen Kammerdruckbetrieb bis zu 1 × 10 -3 Pa. ermöglicht. Das Gerät ist außerdem mit einem Echtzeit-Kammerdruckmonitor für eine optimale Prozesssteuerung ausgestattet. Die Quellpistolen des Modells verfügen über eine hocheffiziente Quelle Stromversorgung, die eine breite Palette von Sputterleistungen von 500 W bis 5 kW bietet. Dies ermöglicht eine schnelle Abscheiderate (bis zu 10 nm/s) bei ausgezeichneter Homogenität und Gleichmäßigkeit. Das Gerät kann mit großen Substraten wie Flachscheiben und röhrenförmigen Substraten bis 25,4 mm Durchmesser eingesetzt werden. Neben der Sputterabscheidung unterstützt SPF-510 auch das reaktive Sputtern. Das System verfügt über ein geschütztes HF-Netzteil für erweiterte Prozesskontrolle und Gleichmäßigkeit. Das Gerät ist mit einem mehrkanaligen proportionalen metrischen Regler ausgestattet, der eine vollständige Regelung der Sputter-Prozessparameter wie Zieldicke, Abscheiderate und Druck ermöglicht. CANON/ANELVA SPF-510 ist einfach zu installieren und zu bedienen. Die Maschine verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine schnelle Einstellung der Prozessparameter ermöglicht. Das Werkzeug ist für einen zuverlässigen und stabilen Betrieb in einer Produktionsumgebung ausgelegt. Darüber hinaus verfügt das Asset über ein leistungsstarkes digitales Vorschub-Regelmodell für eine präzise und wiederholbare Verarbeitung. Insgesamt ist CANON SPF-510 eine fortschrittliche Sputterausrüstung, die für die Dünnschichtabscheidung mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Die Eigenschaften des Systems ermöglichen eine präzise Prozesssteuerung für die Abscheidung von Metall- und dielektrischen Dünnschichten. Das Gerät ist einfach zu installieren und zu bedienen und ist ideal für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen.