Gebraucht CANON / ANELVA SPF-540H #9053829 zu verkaufen

CANON / ANELVA SPF-540H
ID: 9053829
Sputtering system.
CANON/ANELVA SPF-540H Sputterausrüstung ist ein Präzisionssputterabscheidungssystem für den Einsatz in vielen verschiedenen Anwendungen. Mit seinem fortschrittlichen Design ist diese fortschrittliche Einheit in der Lage, dünne Filme auf einer Vielzahl von Substraten mit ihrer genauen Steuerung von Parametern wie Zusammensetzung, Textur und Morphologie genau zu verarbeiten. Diese einzigartige Maschine kann für viele Arten von Anwendungen verwendet werden, einschließlich der Herstellung von High-End-Forschung und Produktionswerkzeugen. CANON SPF-540H Einheit umfasst eine Abscheidekammer, die ein Dreikammer-Drehmagnetron, eine Stromversorgung, eine Ionenquelle, ein Sputterziel und eine Gleichstromquelle mit einem Polygon/rotierenden Substrathalter aufnimmt, um das Substrat während des Abscheidungsprozesses an Ort und Stelle zu halten. Das Gerät enthält auch ein Spin-on-Glas und pyrolytisches Glas. Es kann in einer Vielzahl von Verfahren von Dünnschichtabscheidung bis zu großflächigen monolithischen CVD-Verfahren eingesetzt werden. Die Stromquelle ist zur Steuerung der Intensität des Gleichspannungsimpulses sowohl für Sputter- als auch Ionenquellen ausgebildet und kann eine Vielzahl von Ausgangsspannungen, Strombereichen und Taktraten aufweisen. Die Kammer kann Temperaturen bis zu 1000 ° C für den Prozess handhaben, und das Target ist in der Lage, sich relativ zum Substrat zu drehen. Das Rotationsmagnetron ist in der Lage, eine gleichmäßige Abscheidung über das Substrat vorzusehen, und die Ionenquelle kann für eine Vielzahl von Abscheidungsprofilen programmiert werden. Die Abscheidung kann während des Abscheideprozesses auf dem Substrat überwacht und die Sputterquelle für eine Vielzahl von Zusammensetzungen programmiert werden. Dieses Tool ist auch kompatibel mit zahlreichen Arten von Überwachungssoftware, so dass eine einfache, Echtzeit-Überwachung des Prozesses. Darüber hinaus ist es möglich, ANELVA SPF-540H ferngesteuert zu betreiben, so dass das Asset von einem entfernten Standort aus überwacht und gesteuert werden kann. Insgesamt ist SPF-540H ein leistungsstarkes, vielseitiges Sputter-Abscheidungsmodell. Es ist für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet und kann dünne Filme auf einer Vielzahl von Substraten genau verarbeiten. Das fortschrittliche Design und die Fähigkeit, von einem entfernten Standort aus zu überwachen und zu arbeiten, machen es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Benutzern.
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