Gebraucht CANON / ANELVA SPF-730 #9031246 zu verkaufen

CANON/ANELVA SPF-730 ist eine Sputteranlage, die für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen verwendet wird. Es eignet sich für eine Vielzahl von Sputterverfahren und kann zur Abscheidung von Materialien wie Metall und dielektrischen Folien verwendet werden. CANON SPF-730 ist in der Lage, eine genaue und gleichmäßige Abscheidung über eine große Fläche mit einem hohen Durchsatz zu gewährleisten. Das System basiert auf der Multi-Magnetron Sputtering (MMS) -Technologie, die mit einem optimierten Sputterverfahren langlebige und gleichmäßige Beschichtungen über verschiedene Bereiche herstellen kann. Die Einheit verfügt über eine einzigartige modulare Kammerkonstruktion, die hilft, eine bessere Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schichten zu erreichen. ANELVA SPF-730 hat zwei Magnetronensätze, einen oben und einen unten in der Kammer. Diese Maschine verwendet die kathodische Lichtbogenverdampftechnologie, um energetische Ionen zu emittieren, die zum Substrat hin beschleunigt werden. Dies hilft, gleichmäßige Ablagerungen auch auf großen Substraten mit hoher Abscheidungseffizienz und Geschwindigkeit zu erzielen. Es hat eine unabhängige Steuerung der Magnetron-Netzteile und besteht ebenfalls aus einem HF-Generator, der sowohl den unteren als auch den oberen Magneten steuert und somit eine gleichmäßige Abscheidung der Schichten ermöglicht. Das Werkzeug enthält zwei Aufzüge, die beim manuellen Be-/Entladen von Substraten helfen. Die Gaseinspeisung von SPF-730 enthält zwei unabhängige Quellen von Argon (Ar) und Sauerstoff (O2) Gasen. Zur Optimierung des Sputterabscheidungsprozesses können die beiden Gasquellen einzeln geregelt werden. CANON/ANELVA SPF-730 verfügt auch über eine Kühleinheit, die hilft, die Kammertemperatur während des Betriebs niedrig zu halten. Es enthält auch eine Steuereinheit, die bei der Einstellung verschiedener Parameter wie Prozesszyklen, Timing und Gasdurchflussraten hilft. Das Modell enthält auch ein Touchscreen-Bedienfeld und ein LCD-Display, mit dem Benutzer die Geräte während des Betriebs überwachen können. Das System wird üblicherweise zur Herstellung verschiedener Arten von Dünnfilmbeschichtungen verwendet, die von dielektrischen Schichten niedriger k bis zu dielektrischen Schichten hoher k, Metallfolien und Verbindungen reichen. Es eignet sich für eine breite Palette von Anwendungen einschließlich Halbleiter-Wafer-Herstellung, Festplatten-Produktion, Display-und Touch-Panel-Produktion und Sensoren. CANON SPF-730 ist eine hocheffiziente Sputtereinheit, die in der Lage ist, gleichmäßige und langlebige dünne Folien für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen zu erstellen. Die Maschine ist einfach zu bedienen und bietet eine genaue Kontrolle des Abscheideprozesses.