Gebraucht CANON / ANELVA SPF-730H #293660536 zu verkaufen
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ID: 293660536
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Sputtering system, 6"
Non-SMIF Type
Main body
Pump
Display
Pump line box
Cables box
Pump cover
Spare parts
(2) Control cabinets
Air pressure: 6-8 kgf/cm²
Water volume:
Main body: 2kgf/cm², 6 L/min
Attached: 2kgf/cm², 5 L/min
Power supply: AC200 V, 60 A, 3-Phase
1996 vintage.
CANON/ANELVA SPF-730H ist eine hochmoderne Sputteranlage, die Forscher mit fortschrittlichen Sputterfunktionen auf kleinerer Fläche versorgen soll. Dieses Sputtersystem kombiniert den effizienten DC-gesteuerten Sputterprozess mit fortschrittlicher Stromversorgungstechnologie und ergonomischem Design, das eine einfache und intuitive Bedienung ermöglicht. Die Gesamteinheit sorgt für einen verbesserten Durchsatz, Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Sputterergebnisse. Die Sputtermaschine besteht aus zwei Hauptuntersystemen - dem Hauptkörper und dem Magnetfeld. Der Hauptkörper beherbergt eine Sputterquelle, ein Vakuumwerkzeug und ein Computersteuergerät. Die Sputterquelle besteht aus zwei Doppelmagnetronen, wodurch der hocheffiziente DC-gesteuerte Magnetron-Sputterprozess stattfinden kann. Das Vakuum-Modell, das aus einer Diffusionspumpe und einer Turbo-Molekularpumpe besteht, sorgt dafür, dass der Sputterprozess unter einer stabilen und niederdruckigen Vakuumumgebung stattfinden kann. Die Computersteuereinrichtung ermöglicht eine präzise Steuerung und Einstellung von Sputterparametern, einschließlich Stromversorgungsstrom, Spannung und Wellenform. Das System verfügt auch über ein Magnetfeld-Array, das aus einer Reihe von gekreuzten Permanentmagneten besteht, die um die Sputterquelle platziert sind. Dadurch wird eine gleichmäßige Zerstäubung des Zielmaterials sowie eine Richtungssteuerung erreicht, die eine gleichmäßige Verteilung des zerstäubten Materials gewährleistet und nicht vom Substrat wegdriftet. CANON SPF-730H Sputtereinheit ist die ideale Wahl für Sputteranwendungen, die hochpräzise, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse erfordern. Mit seinem fortschrittlichen Sputterverfahren, mehreren Funktionen und dem benutzerfreundlichen Design ist diese Sputtermaschine eine ausgezeichnete Wahl für Labore und Forschungseinrichtungen, die nach einer zuverlässigen Lösung für ihre Sputterbedürfnisse suchen.
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