Gebraucht CANON / ANELVA SPF-730H #9219102 zu verkaufen

CANON/ANELVA SPF-730H ist eine Sputteranlage zur Dünnschichtabscheidung von Materialien, die typischerweise in den Bereichen Forschung und Entwicklung im Zusammenhang mit Halbleitern, Dünnschichten und Nanotechnologie angewendet wird. Es ist ein PVD-System (Physical Vapor Deposition), das Metall, Halbleiter und dielektrische Dünnschichten auf Substraten abscheiden kann. CANON SPF-730H besteht aus drei unabhängigen, rotierenden Co-Magnetrons, die die Abscheidung von Materialien aus drei Quellen ermöglichen, und verfügt über einen Drehgeber, der am Rotator befestigt ist, um die Einheit zu optimieren. Diese Konfiguration bietet eine bessere Zielauslastung und erhöht somit die Produktivität bei gleichzeitiger Reduzierung der Re-Targeting- und Wartungskosten. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Feldemissionsüberwachung, um sicherzustellen, dass die Foliendicke und die Zusammensetzung während der Abscheidung konsistent bleiben. ANELVA SPF-730H hat eine Doppelkammer-Ausführung, mit einer Hauptkammer und einer Hilfskammer für mehrere Anwendungen. Die Hauptkammer ist vakuumdicht und umfasst zwei Substrathalter mit 20 cm Durchmesser, die Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm und ein rotierendes Joch für das Winkelsputtern unterstützen. Es ist auch mit einer Stickstoffversorgung ausgestattet, die ein reaktives Sputtern in einer Atmosphäre von bis zu 0,5 Pa.Die Hilfskammer ist mit einem Duschkopf und einem Mikrocontroller zur Steuerung der Werkzeugparameter ausgestattet. SPF-730H verfügt über eine Lastsperre, die eine hohe Vakuumqualität gewährleistet, sowie über einen automatischen Verschluss, der die Exposition von Substraten gegenüber dem Vakuum über einen langen Zeitraum hinweg verhindert und somit die manuelle Handhabung entfällt. Es hat auch eine automatische Betriebstemperaturregelung, die die Temperaturstabilität der Substrate während des Abscheidungsprozesses gewährleistet. Darüber hinaus ist das Modell mit einem Computer ausgestattet, der den gesamten Prozess steuert, von der Positionierung der Substrate bis zur Überwachung des Sauerstoffpartialdruckes, was präzise und wiederholbare Rezepte ermöglicht. Abschließend ist CANON/ANELVA SPF-730H eine zuverlässige und konsistente Sputteranlage, die zur Abscheidung von Dünnschichtmaterialien für Anwendungen in Forschung und Entwicklung eingesetzt werden kann. Das Drei-Quellen-PVD-System und die Load-Lock-Einheit sorgen für eine hohe Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit der produzierten Folien, während die eingebauten Sensoren zur Optimierung der Produktionsraten beitragen.