Gebraucht CPA / KURDEX 9900-1 #9173356 zu verkaufen
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ID: 9173356
Horizontal in-line sputtering system
Entry / Exit load lock:
CPA Chamber
CPA Load lock valve
Load lock chamber 26"
Single pallet operation
12” x 24” Sputter zone
(1) Al Pallet, 15.5” x 25” x .25”
MKS 924 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
Pallet sensors
Process chamber:
CTI CT-8 Cryo pump
VAT Hivac valve
MKS Throttling valve
CTI 8500 Compressor
MKS 972 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
(2) Gas system with VCR gas lines
(2) NUPRO Isolation valves
(2) MKS MFCs for Ar 200 sccm , O2 50 sccm
MKS Variable throttle value
MKS 390 Baratron gauge
Chain drive transport system
AE Pinnacle+, 5 kW DC power supply
With sync cable
(4) CPA Process chambers:
(6) CPA 4.75” x 15” DC Magnetron assemblies
(6) Targets shielding
(1) CPA Process chamber
Oven run
Control system:
Opto-22 PLC
Monitor-simple PLC
Manual and auto control modes
Recipe control
(2) Stepper motors
I/O Wiring
SMC Soleniod block
UL Approved power box with EMO
CPA Optical pallet sensing system
With controller and sensors
RGA:
LEYBOLD Transpector
Installed with isolation valve
Dry pump.
CPA/KURDEX 9900-1 Sputtergeräte sind ein magnetronbasiertes System, das speziell für Dünnschichtabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist eine hochpräzise Multizieleinheit, die sich perfekt für die Sputterbeschichtung mit einer Vielzahl von Materialien eignet. CPA 9900-1 hat eine maximale Abscheidungsrate von 0,3 Å/s, einen Ziel-zu-Probe-Entfernungsbereich von 3 bis 10 cm und eine maximale Substratgröße von 9 Zoll. Es ist auch in der Lage, sowohl positive als auch negative Ziele zu zerstäuben. Die Maschine wird von einer automatisierten Argonionsquelle angetrieben und wird mit einem speziellen, Ultrahochvakuum (UHV) dreifaches Ziel magnetron stotternde Pistole ausgestattet. KURDEX 9900-1 ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, darunter ein Touchscreen-Display für einfache Bedienung, ein vollständig beiliegendes Design für Sicherheit und ein LED-Display für die Zielüberwachung. Das Tool ist zusätzlich mit einer SPS (Programmable Logic Controller) für optimierte Automatisierung und präzise Kontrolle der Sputterprozesse des Asset ausgestattet. Das Modell kann auch in eine automatisierte Produktionslinie integriert werden, die eine schnelle und effiziente Sputterbeschichtung von Inkrementen in gemusterten dünnen Folien ermöglicht. 9900-1 verwendet einen Hochleistungs-Plasmagenerator, der speziell entwickelt wurde, um die optimalen Sputterbedingungen zu schaffen. Die Sputterparameter in diesem Gerät sind hoch einstellbar und für optimale Ergebnisse programmierbar. Der maximale Prozesstemperaturbereich beträgt 0- 1000˚C und die maximale Leistungsabgabe ist 8kW. Das System ist außerdem mit einem wassergekühlten Schild ausgestattet, um Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. CPA / KURDEX 9900-1 ist eine ideale Wahl für dünne Hochleistungsfilmabsetzungsanwendungen. Dank seiner außergewöhnlichen Präzision und Geschwindigkeit eignet es sich hervorragend für eine schnelle und effiziente Sputterbeschichtung mit einer Vielzahl von Materialien. Das Gerät ist auch mit mehreren Sicherheits- und Überwachungsfunktionen ausgestattet, um den Bediener und das Substrat vor möglichen Störungen zu schützen. CPA 9900-1 ist eine zugängliche und kostengünstige Option für hochpräzise, leistungsstarke Sputteranwendungen.
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