Gebraucht CPA / KURDEX 9900 #9035084 zu verkaufen
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ID: 9035084
Sputtering system
Manual operation
Cold trap in each chamber
Load lock at each end
Substrate heater chamber
(3) Cathode chambers
Cathode size: 15"
Diffusion pumps model #0183 (VHS-4 new model number) for the load locks
Turbovac 1000CT Turbo pump for the process chamber
System handles 14 pallets in a load, 12"x12" usable pallet area
Equipped in each load lock a heater enclosure and an omega temperature controller for high temperature cures (=<500C) at high vacuum.
CPA/KURDEX 9900 ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung für Nanotechnologie und Materialforschung. Es ist ein kompaktes, vakuumfreies Hochleistungs-Plasmasystem, das über verschiedene Energiequellen und eine breite Palette von anpassbaren benutzerdefinierbaren Parametern verfügt. Die Einheit ist auf einer modularen Plattform aufgebaut, mit einer Steuerung, Stromversorgung, Gaszufuhr, Zielhaltern, einer breiten Palette von Zielen, Kollimationsleitblechen, Vakuumkammer und Aussichtspunkten. CPA 9900 verwendet Hochleistungs-Pulsplasma-Technologie, um einen Hochleistungs-Sputterprozess zu erzeugen, der wiederholbar ist, um eine Gasphasenabscheidung von Dünnschichtmaterial auf ein Substrat mit minimalen Defekten zu liefern. Die gleichmäßige, hohe Zerstäubung durch diese Maschine sorgt für eine qualitativ hochwertige Abscheidung von dünnen Folien mit ausgezeichneter Haftung und Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus kann das Werkzeug zur Abscheidung von Folien für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, darunter Halbleiterstrukturen, optische Beschichtungen und biomedizinische Bauelemente. Die Leistung von KURDEX 9900 wird durch eine breite Palette von Energiequellen bereitgestellt, darunter Magnetrons, Bogenplasmaquellen und E-Beam-Geschütze. Die Steuer- und Überwachungssysteme ermöglichen eine präzise Einstellung von Plasmaparametern wie Leistung, Gaszusammensetzung und Pulsbreite. Es verfügt auch über anpassbare Arbeitsparameter, wie Temperatur, Druck, Abkühlzeit und Druckmodus. Dies gibt Benutzern die Möglichkeit, die Sputterablagerung an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen. 9900 Asset ist mit einer Reihe von Sicherheitsmechanismen ausgestattet, um die Sicherheit während des Sputterprozesses zu gewährleisten. Dazu gehören räumliche temperaturunabhängige Übertemperaturabschaltung, gezielter Flächenwärmeschutz und niveauempfindliche Lichtbogeneinleitungsregelung. Das Modell verfügt außerdem über eine „Target-Vergiftungseinrichtung“, die die Reaktion zwischen den verdampften Partikeln und dem Substrat sowie die Schnittstelle mit Oberflächenverunreinigungen reduziert. Insgesamt ist das CPA/KURDEX 9900 Sputtersystem eine effiziente, wiederholbare und hoch kontrollierbare Einheit für Nanotechnologie und Materialforschung. Diese Maschine ist in der Lage, Dünnschichtabscheidungen mit ausgezeichneter Qualität und Gleichmäßigkeit für Materialien mit einer Vielzahl von Eigenschaften und Anwendungen zu produzieren. Die benutzerfreundliche Oberfläche, gepaart mit der Palette der anpassbaren Parameter, macht CPA 9900 Sputterwerkzeug eine ausgezeichnete Wahl für jede Forschung oder industrielle Sputteranwendung.
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