Gebraucht CPA / KURDEX 9900 #9035090 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9035090
Sputtering system
Cold trap in each chamber
Load lock at each end
Substrate heater chamber
(3) Cathode chambers
Cathode size: 15"
The left side used to have a diffusion pump model #VHS-4, process chamber and the right load lock each had a turbo pump model# TURBOVAC 1000CT
No high vacuum pumps, turbo pumps or diffusion pumps included
Both load locks original vacuum controllers were upgraded some time ago with PLC vacuum controllers
System handles 14 pallets in a load, 12"x12" usable pallet area
Equipped in each load lock a heater enclosure and an omega temperature controller for high temperature cures (=<500C) at high vacuum.
CPA/KURDEX 9900 ist eine sehr vielseitige Sputterausrüstung für die physikalische Dampfabscheidung (PVD), die für Anwendungen wie Dünnschichtabscheidung, Diffusionsbarrierenbeschichtung, Schutzbeschichtungen und optische Beschichtungen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben, mit bis zu vier Sputter-Targets, Magnetron-Sputtern oder planare Quellen, so dass Sputtern auf mehreren Oberflächen gleichzeitig. Dieses System ist mit einer berührungslosen, vollständig computergesteuerten Probenstufe zur präzisen Steuerung der Probenahme- und Abscheidungsparameter ausgestattet. Es enthält auch eine SPS (Programmable Logic Controller) für die Überwachung und Steuerung aller Prozessparameter, und der Zusatz eines hochauflösenden Quarzreglers ermöglicht Präzisionsmessung und Präzisionssputtern. CPA 9900 bietet vollautomatische Lösungen für eine breite Palette von Steuerungs- und Datenerfassungsanforderungen in der Halbleiter- und ferromagnetischen Beschichtungsindustrie. Es ist kompatibel mit vielen Softwarepaketen, einschließlich MATLAB, AutoCAD und LabView. Diese Einheit verwendet sowohl UHV- als auch Hochvakuum-Modi zum Sputtern und ist in der Lage, mehrere Quellen wie Hochenergie, Niedrigenergie und Inertgasabscheidung zu verwenden. Durch die Verwendung eines 63mm kreisförmigen Sputterziels kann KURDEX 9900 die Gleichmäßigkeit der Oberfläche und die Folienqualität verbessern. Zusätzlich erreicht die Maschine durch konstante Sputtertiefenverstellbarkeit eine gleichmäßige Sputterzielfläche. Die Maschine verfügt über eine SPS, um alle Prozessparameter zu erleichtern, von der Einstellung der Sputterrate bis zur Einstellung der Foliendicke. Die Maschine ist einfach zu bedienen und kann manuell oder mit einer optionalen Auto-Tuning-Software bedient werden. Die Auto-Tuning-Software ermöglicht eine präzisere und kontinuierliche Sputterratenanpassung sowie die automatische Abgabe von Oxidationsschutzgasen. Das Werkzeug kann auch Daten jedes einzelnen Schrittes der Reinigungs- und Abscheideprozesse erfassen. 9900 ist ein effizientes Werkzeug, um hochgleichmäßige, fehlerfreie Beschichtungen mit einer breiten Palette von Zusammensetzungen zu schaffen, die die langfristige Leistung des Produkts verbessern können. Die Sputteranlage CPA/KURDEX 9900 erweist sich als zuverlässiges, präzises und robustes Werkzeug für die Abscheidung von dünnen Folien.
Es liegen noch keine Bewertungen vor