Gebraucht CPA / KURDEX 9900 #9116667 zu verkaufen
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ID: 9116667
Sputtering system
Entry / Exit load lock:
CPA Chamber
CPA Load lock valve
Load lock chamber, 13.125”
Single pallet operation
Substrate, 12” x 12”
SST Pallet, 15.5”x14”
GP-303 Ion gauge controller
Pallet sensors
Load / Unload station
Process chamber:
CTI CT-8 Cryo pump
VAT Hivac valve
MKS Throttling valve
CTI 8500 Compressor
GP-303 Ion gauge controller
(2) Gas system with VCR gas lines
(2) NUPRO Isolation valves
(2) MKS MFCs for Ar, O2
Chain drive transport system
(2) AE Pinnacle+, 10kw dc power supplies
(1) CPA Process chamber:
(2) CPA 4.75”x15” DC magnetron
Assemblies:
(2) Sets of target shielding
Control system:
Opto-22 PLC, monitor
Manual & auto control modes
Recipe control
I/O Wiring
Ul Approved power box with EMO
CPA Optical pallet sensing system
With controller & sensors
Process parameter control ranges:
Sputtering pressure: 5 - 30 Microns
Conveyor speed: 0.1 - 80 cm.min.
D.C Deposition power level: 100 - 9000 watts
R.F Deposition power level: 50 - 3000 watts
R.F Sputter clean power level: 15 - 1000 watts
Substrate heating: Ambient to 350°C
Uniformity performance:
Etch: ±10%
Deposition:
R.F Magnetron ±10%
D.C Magnetron ±5%
Vacuum performance:
Ultimate pressure
2 x 10(-7) in 16 hrs
5 x 10(-7) in 30 minutes
Rate of rise: 1 x 10(-4) 6 minutes
Vacuum tight: Less than 5 x 10(-10) standard atmosphere cc helium/second
Utility requirements:
4-Wire delta or 5 wire wye
Water temperature: 50 - 75°F (10-24°C)
Air: 70 to 100 PSIG (6 to 8 ATU) filtered, 1 CFM
Sputtering gas: Typically 5 PSIG (1.3 ATU) Argon
Options:
Sputter etch
CPA Etch table assy
AE Matching network
RF Switching assy
AE RF generator
Sputter area mod, 24"
RGA:
LEYBOLD Transpector
Installed with isolation valve
Substrate heater:
Process chamber
Heater assy
Contoller
Wiring
Power: 208 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 100 A.
CPA/KURDEX 9900 ist eine Sputterabscheidung, die für zuverlässige Hochleistungs-Vakuumabscheidungsprozesse entwickelt wurde. Dieses System ist in der Lage, hochwertige, einheitliche Dünnschichtmaterialien zu liefern, die über eine Vielzahl von Branchen Anwendung haben. CPA 9900 kommt mit mehreren Optionen für die Arbeitskammer. Es weist Doppelkammern auf, die sowohl zur Sputterabscheidung als auch zum Aufdampfen geeignet sind. Eine der Kammern kann mit einer Kryopumpe für den Einsatz in einer Hochvakuum- oder Ultrahochvakuumumgebung ausgebildet sein. KURDEX 9900 Sputtereinheit enthält ein Quad-Säule-Magnetron. Diese Konfiguration ermöglicht es Benutzern, schnell die am besten geeignete Quellkonfiguration für ihre Anwendung auszuwählen. Zusätzlich bietet diese Maschine eine variable Frequenzregelung des Substratdrehtisches und eine Möglichkeit, mehrere Sputterrezepte zu programmieren. 9900-Werkzeug verwendet Magnetfeld-unterstütztes Sputtern, um zeitunabhängige Abscheidungsraten zu gewährleisten. Das Ergebnis ist eine gleichmäßigere, sauberere und dickere Folie, die anspruchsvollen Anwendungen gerecht wird. Dieses Asset kann auch für Multi-Target-Sputter-Konfigurationen geeignet sein, wodurch Benutzer verschiedene Kompositionen in einem einzigen Lauf hinterlegen können. Dieses Modell kommt auch mit einer Turbopumpe mit einer Stützpumpe, für überlegene Vakuumleistung. Die Turbopumpe kann separat von den Kammern installiert werden, was eine störungsfreie Wartung der Kammern ermöglicht. Zusätzlich verfügt CPA/KURDEX 9900 über einen Gaskasten, der mit geregelten hochreinen Gasen gespeist wird. Dieser Gaskasten ermöglicht es Benutzern, Gase wie Argon, Stickstoff, Sauerstoff und Wasserstoff zu steuern. Zusätzlich zu den vielen Funktionen und Optionen, die von CPA 9900 angeboten werden, ist die Ausrüstung benutzerfreundlich und die Bedienung ist leicht zu erlernen. Dieses System verfügt auch über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Bedienung vereinfacht und die Programmierung von Sputteraufträgen erleichtert. KURDEX 9900 ist eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige und benutzerfreundliche Sputtereinheit benötigen. Mit mehreren Konfigurationsoptionen, einfacher Bedienung, leistungsstarker Leistung und großartigen Ergebnissen ist diese Maschine für eine Vielzahl von Sputteranwendungen geeignet.
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