Gebraucht CPA / KURDEX 9900 #9116667 zu verkaufen

Hersteller
CPA / KURDEX
Modell
9900
ID: 9116667
Sputtering system Entry / Exit load lock: CPA Chamber CPA Load lock valve Load lock chamber, 13.125” Single pallet operation Substrate, 12” x 12” SST Pallet, 15.5”x14” GP-303 Ion gauge controller Pallet sensors Load / Unload station Process chamber: CTI CT-8 Cryo pump VAT Hivac valve MKS Throttling valve CTI 8500 Compressor GP-303 Ion gauge controller (2) Gas system with VCR gas lines (2) NUPRO Isolation valves (2) MKS MFCs for Ar, O2 Chain drive transport system (2) AE Pinnacle+, 10kw dc power supplies (1) CPA Process chamber: (2) CPA 4.75”x15” DC magnetron Assemblies: (2) Sets of target shielding Control system: Opto-22 PLC, monitor Manual & auto control modes Recipe control I/O Wiring Ul Approved power box with EMO CPA Optical pallet sensing system With controller & sensors Process parameter control ranges: Sputtering pressure: 5 - 30 Microns Conveyor speed: 0.1 - 80 cm.min. D.C Deposition power level: 100 - 9000 watts R.F Deposition power level: 50 - 3000 watts R.F Sputter clean power level: 15 - 1000 watts Substrate heating: Ambient to 350°C Uniformity performance: Etch: ±10% Deposition: R.F Magnetron ±10% D.C Magnetron ±5% Vacuum performance: Ultimate pressure 2 x 10(-7) in 16 hrs 5 x 10(-7) in 30 minutes Rate of rise: 1 x 10(-4) 6 minutes Vacuum tight: Less than 5 x 10(-10) standard atmosphere cc helium/second Utility requirements: 4-Wire delta or 5 wire wye Water temperature: 50 - 75°F (10-24°C) Air: 70 to 100 PSIG (6 to 8 ATU) filtered, 1 CFM Sputtering gas: Typically 5 PSIG (1.3 ATU) Argon Options: Sputter etch CPA Etch table assy AE Matching network RF Switching assy AE RF generator Sputter area mod, 24" RGA: LEYBOLD Transpector Installed with isolation valve Substrate heater: Process chamber Heater assy Contoller Wiring Power: 208 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 100 A.
CPA/KURDEX 9900 ist eine Sputterabscheidung, die für zuverlässige Hochleistungs-Vakuumabscheidungsprozesse entwickelt wurde. Dieses System ist in der Lage, hochwertige, einheitliche Dünnschichtmaterialien zu liefern, die über eine Vielzahl von Branchen Anwendung haben. CPA 9900 kommt mit mehreren Optionen für die Arbeitskammer. Es weist Doppelkammern auf, die sowohl zur Sputterabscheidung als auch zum Aufdampfen geeignet sind. Eine der Kammern kann mit einer Kryopumpe für den Einsatz in einer Hochvakuum- oder Ultrahochvakuumumgebung ausgebildet sein. KURDEX 9900 Sputtereinheit enthält ein Quad-Säule-Magnetron. Diese Konfiguration ermöglicht es Benutzern, schnell die am besten geeignete Quellkonfiguration für ihre Anwendung auszuwählen. Zusätzlich bietet diese Maschine eine variable Frequenzregelung des Substratdrehtisches und eine Möglichkeit, mehrere Sputterrezepte zu programmieren. 9900-Werkzeug verwendet Magnetfeld-unterstütztes Sputtern, um zeitunabhängige Abscheidungsraten zu gewährleisten. Das Ergebnis ist eine gleichmäßigere, sauberere und dickere Folie, die anspruchsvollen Anwendungen gerecht wird. Dieses Asset kann auch für Multi-Target-Sputter-Konfigurationen geeignet sein, wodurch Benutzer verschiedene Kompositionen in einem einzigen Lauf hinterlegen können. Dieses Modell kommt auch mit einer Turbopumpe mit einer Stützpumpe, für überlegene Vakuumleistung. Die Turbopumpe kann separat von den Kammern installiert werden, was eine störungsfreie Wartung der Kammern ermöglicht. Zusätzlich verfügt CPA/KURDEX 9900 über einen Gaskasten, der mit geregelten hochreinen Gasen gespeist wird. Dieser Gaskasten ermöglicht es Benutzern, Gase wie Argon, Stickstoff, Sauerstoff und Wasserstoff zu steuern. Zusätzlich zu den vielen Funktionen und Optionen, die von CPA 9900 angeboten werden, ist die Ausrüstung benutzerfreundlich und die Bedienung ist leicht zu erlernen. Dieses System verfügt auch über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Bedienung vereinfacht und die Programmierung von Sputteraufträgen erleichtert. KURDEX 9900 ist eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige und benutzerfreundliche Sputtereinheit benötigen. Mit mehreren Konfigurationsoptionen, einfacher Bedienung, leistungsstarker Leistung und großartigen Ergebnissen ist diese Maschine für eine Vielzahl von Sputteranwendungen geeignet.
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