Gebraucht CPA / KURDEX MRS-3 #9226503 zu verkaufen

Hersteller
CPA / KURDEX
Modell
MRS-3
ID: 9226503
PVD sputtering system 3 Beam confocal research Thin film coater Includes: SRS RGA 100 OMEGA RDX4sD 4-Channel thermometer OXFORD E500 Dual temperature monitor (3) RFPP RF5S RF Power supplies ADVANCED ENERGY Pinnacle Plus DC Power supply GRANVILLE PHILLIPS 303 Vacuum process transformer controller ALLEN BRADLEY Control PC EDWARDS IPUP2 Vacuum pump THERMO SCIENTIFIC NESLAB Merlin M33 Recirculating chiller CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor.
CPA/KURDEX MRS-3 Sputteranlagen sind ein leistungsstarkes und zuverlässiges Bias-Sputtersystem für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen. Diese Einheit wird für die Entwicklung und Änderung der Beschichtung mit einer Reihe von Materialien verwendet, die für den Einsatz in Sputteranwendungen geeignet sind. Es wurde entwickelt, um Abscheidungsraten zu optimieren, den Prozessdurchsatz zu verbessern und Substratschäden zu reduzieren. CPA MRS-3 ist eine Dreikammermaschine, die drei keramische Zielhalter aufnehmen kann. Im Sputterverfahren können verschiedene Kathodenkonfigurationen eingesetzt werden, darunter ein Cluster, ein elektrostatisches Spannfutter und ein magnetischer Suszeptor. Die große, effektive Sputterfläche von KURDEX MRS-3 sorgt dafür, dass die Qualität der abgeschiedenen Folie hoch ist. Die Maschine verfügt auch über eine Vielzahl von Überwachungssystemen, um Prozesssteuerdaten für jede Stufe des Abscheideprozesses bereitzustellen. Der Zielhalter hat einen einstellbaren Aufhängungsmechanismus, der es dem Benutzer ermöglicht, die Ziele genau zu positionieren. Dies ermöglicht eine optimierte Gleichmäßigkeit der Zielabscheidung. Die Verwendung eines Inertgasstroms zur Evakuierung der Innenkammer hilft, den Druck während des Abscheidungsprozesses zu steuern und verhindert den Aufbau kondensierbarer Dämpfe. MRS-3 ist mit einer Vielzahl von automatisierten Systemen ausgestattet, die es dem Anwender ermöglichen, den Prozess präzise und genau zu steuern und zu überwachen. Es weist einen Mikrocontroller zum automatisierten Be- und Entladen von Substraten, einen rechnergesteuerten Prozessregler und ein geschlossenes Werkzeug zur Regelung der Abscheiderate auf. Das Bias-Sputterverfahren ermöglicht es dem Anwender, hochwertige, einheitliche Folien auf einer Vielzahl von Substraten zu erhalten. Die Anlage wurde entworfen, um die Substratschäden zu minimieren, die häufig mit Sputtern verbunden sind. Es ist auch in der Lage, eine stabile, hohe Sputterrate zu erhalten, um den höchsten Prozessdurchsatz zu gewährleisten. CPA/KURDEX MRS-3 ist ein effektives und zuverlässiges Sputtermodell, das für eine Reihe von Beschichtungsanwendungen eingesetzt werden kann. Diese Ausrüstung kann Ergebnisse liefern, die mit einer Reihe von Materialien und Substraten in hohem Grade konsistent sind, was es zu einer zuverlässigen und wirtschaftlichen Wahl für die Sputterabscheidung macht.
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