Gebraucht CPA / KURDEX V2000 #9159037 zu verkaufen
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ID: 9159037
Sputtering system
Process chamber:
Dimensions: 29.625” H x 9.5” W x 26.25” L
Chambers capable of 600 mm x 600 mm
(3) Process chambers with viewing windows
Entry: (1) Chamber
Deposition: (2) Chambers
(1) Load lock valve
Pumping port: CF-275 flange for RGA
Pumping ports for chamber with frame base plate
Standard modules
With up to (4) cathode positions per module
Cryopumped process chamber
Cryopumped load locks
(2) Sets shielding
RGA Port
DC and RF in any mix
Sputter single side or double side
Vacuum performance:
Ultimate pressure:
2 x 10(-7) in 16 hrs
5 x 10(6) in 30 minutes
Rate of rise: 1 x 10(-4) 6 minutes
Utility requirements:
Water:
4 GPM @ 65 PSI per Deposition / Heater position
Power:
208 VAC 3Ø, 60 Hz, 5 wire, 80A
Gas:
Compressed air: 80 PSI min, 90 PSI max
Vent gas (Nitrogen): 10 PSI min, 15 PSI max
Process gas (Argon): 20 PSI min, 25 PSI max
Doors with no cathodes
Hivacs
Cryos
Throttle valves
Load lock valve
Track assembly.
CPA/KURDEX V2000 Sputterausrüstung ist ein fortschrittliches Sputterwerkzeug, mit dem dünne Filme auf verschiedenen Substraten abgelegt werden. Dieses leistungsstarke Werkzeug wird von einem dreiphasigen Netzteil angetrieben. Es verwendet eine proprietäre Hochvakuum, Multi-Torr Sputter Vakuumkammer mit einem Arbeitsdruck von unter 1E-5 Torr, so dass bis zu drei separate Quellen verschiedene Filme gleichzeitig sputtern. CPA V2000 bietet eine Verdampfungsquelle und eine separate Sputterquelle, die beide Film aus derselben Kammer auf das Substrat abscheiden können, ohne das Substrat zu übertragen. Die Verdampferquelle verwendet keramische Filamente, um Ein- oder Mehrschichtfolien mit präziser Dicke, Materialzusammensetzung und Brechungsindex typischerweise zwischen 1.200 und 5.200 nm abzuscheiden. Die Sputterquelle besteht aus einer Anordnung von vier Ringmagneten und einer zylindrischen Anode, die bis zu vier Sputterquellen antreiben kann. Diese Sputterquelle hat eine lineare Leistungsregelung von 0-100%, die eine größere Kontrolle über den Sputtervorgang ermöglicht. Darüber hinaus bietet KURDEX V2000 eine breite Palette von Sputterpistolen/Materialkombinationen, die die Herstellung von Materialien mit hervorragenden Eigenschaften ermöglichen. Das Sputtersystem ist auch mit Lastverriegelungstechnik ausgestattet, die hilft, eine Hochvakuumumgebung durch Umschalten zwischen verschiedenen Kammern aufrechtzuerhalten. Dies hilft, den Druck der Kammer auf ein möglichst konsistentes Niveau zu regulieren und eine Kontamination der abgeschiedenen Folien zu verhindern. V2000 ist zudem mit einem Kammertemperaturregler ausgestattet, der eine präzise Temperaturregelung bei der Durchführung empfindlicher Filmabscheidungsprozesse ermöglicht. CPA/KURDEX V2000 ist eine leistungsstarke, präzise Sputtermaschine, die in der Lage ist, eine breite Palette von Folien mit überlegenen Eigenschaften und überlegener Präzision zu produzieren. Sein ausgeklügeltes Design, leistungsstarke Komponenten und innovative Technologien machen CPA V2000 zu einer idealen Wahl für die Herstellung hochwertiger Dünnschichten für verschiedene Anwendungen.
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