Gebraucht CVC 601 LL #135391 zu verkaufen
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ID: 135391
Weinlese: 1980
Load lock with RF Etch
For conversion of CVC 601 sputtering system to load lock
Specifications:
Chamber top plate assembly and hoist
Heavy duty hoist
Load lock chamber with cassette
Roughing manifold
RF Etch assembly with matchbox
Rotostrate titanium table with pallets
1980 vintage.
CVC 601 LL ist eine Vakuumsputteranlage, die für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Es wird hauptsächlich zur Abscheidung von Metallen, Dielektrika und Nitriden sowie Oxid und anderen Verbindungen verwendet. Es verfügt über alle Funktionen, die für komplexe Dünnschichtanwendungen von der Forschung und Entwicklung bis zur Klein- bis Mittelproduktion notwendig sind. 601 LL nutzt ein High-End Diamant-Like-Carbon (DLC) Beschichtungssystem mit fortschrittlichem Multi-Source-Sputtern und schnellem thermischem Glühen. Es verfügt über eine verteilte Leistungsarchitektur mit einem fortschrittlichen digitalen Sputternetzteil, das über eine einstellbare Lenkfähigkeit verfügt, um eine kontinuierliche Plasmakonzentration bereitzustellen und gleichzeitig die Materialzusammensetzung genau zu steuern. Es verwertet einen effizienten Lichtbogenunterdrückungsstromkreis der niedrigen Macht, der kreisbogenähnliche Bedingungen entdeckt und sie sofort unterdrückt. Die Hauptkammer der Einheit besteht aus Aluminiumlegierung und ist für eine einfache Bedienung auch unter extremen Bedingungen ausgelegt. Es ist mit einer Hochvakuumkammer für hochwertige Dünnschichtabscheidung und schnelle Abpumpzeiten ausgestattet. Zur präzisen Steuerung der Argonströmung und Schließung der Kammer wird an der Tür ein integrierter Encoder angebracht. Es ist auch mit einem OLED-Display ausgestattet, um die Kammerbedingungen zu überwachen und Echtzeit-Anpassungen vorzunehmen. CVC 601 LL bietet einzigartige Funktionen wie eine fortschrittliche Bogenerkennungsmaschine, einen einstellbaren Leistungsbereich mit einem Spitzenstrom bis 20A und eine automatische Substrathalterpositionskontrolle für gleichmäßig verteilte Beschichtung. Das Werkzeug bietet ein breites Bearbeitungsfenster für eine Vielzahl von Materialien von Aluminium bis Gold und anderen exotischen Legierungen. 601 LL verfügt über eine seitliche Gaszufuhr, die die Abscheidung hochreaktiver Materialien wie Oxide und Nitride ermöglicht. Es bietet ein großes Flächendeckungs- und Einheitlichkeitskontrollmodell, um hochwertige Dünnschichten mit minimalem Abfall herzustellen. Darüber hinaus ist CVC 601 LL eine zuverlässige Ausrüstung, die durch ein innovatives optisches akustisches System unterstützt wird, das optisch und akustisch genaue Prozesskontrollbedingungen sowie eine On-Board-Diagnose und einen Hardware-Datenlogger bereitstellen kann. Es hat auch eine verbesserte Sputter-Reinigungseinheit und eine wasserstofffreie Widerstandsbeschichtung für überlegene Leistung.
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