Gebraucht CVC 601 #9003215 zu verkaufen

Hersteller
CVC
Modell
601
ID: 9003215
Sputtering system Chamber/reactor Power supply and control unit.
CVC 601 ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung, die entwickelt wurde, um dünne Filme aus Metallen, Legierungen, Halbleitern und Isolatoren auf Substraten wie Dünnglas oder Kunststoff abzuscheiden. Es ist ein industrielles Sputtersystem mit maximaler Produktionseffizienz im Auge. 601 besteht aus einer Kammer, die bis zu acht Targets und zwei Substrathalter aufnehmen kann. Die Ziele können leicht verändert werden, um ein positives oder negatives ionenstatisches Sputtern zu erreichen. Eine hohe Pumpgeschwindigkeit sorgt für eine Hochvakuumumgebung in der Sputterkammer. CVC 601 verwendet je nach Zielmaterial eine Magnetron-HF- oder DC-Stromquelle. Die HF-Leistung arbeitet mit einer Frequenz von 175 kHz, während die DC-Leistung eine dreiphasige Stromversorgung verwendet. Zur Einstellung der Leistung von 601 für die Abscheidung dünner Filme wird eine aufwendige Zündmethode eingesetzt. Eine integrierte inhaltsbasierte Steuereinheit optimiert die Prozessparameter für verschiedene Abscheidebedingungen. Die Temperatur der Kammer kann entweder mit einem wassergekühlten oder luftgekühlten Kühlmittel gesteuert werden. Zusätzlich kann die Kammer mit den eingebauten Sensoren auf Temperatur, Druck und Gasströmung überwacht werden. CVC 601 bietet sowohl manuelle als auch automatisierte Steuerung zur Einstellung der Abscheideparameter. Durch diese Kombination aus automatisierter und manueller Steuerung kann 601 auf die Abscheidung von dünnen Folien zugeschnitten werden, die spezifischen Kundenanforderungen entsprechen. Die Prozessparameter können im programmierbaren Speicher gespeichert und bei Bedarf aufgerufen werden, sofern nicht manuell geändert. CVC 601 ist für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanlagen oder für Forschungs- und Laborstudien konzipiert. Mit seiner fortschrittlichen Steuermaschine und der hohen Pumpgeschwindigkeit kann 601 konsistente, hochwertige dünne Filme für verschiedene Anwendungen produzieren.
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