Gebraucht CVC 601 #9060536 zu verkaufen

Hersteller
CVC
Modell
601
ID: 9060536
Sputtering system Includes: Cryo pump Hivac valve Air cylinder lift lid missing.
CVC 601 ist ein hochmodernes Gleichstrom (DC) Magnetron-Sputtergerät. Dieses System ist für grundlegende und angewandte Forschung in der Mikroelektronik und Optoelektronik Geräteherstellung konzipiert. Es bietet eine präzise Kontrolle über eine Vielzahl von Betriebsparametern, um qualitativ hochwertige dünne Folien in einer breiten Palette von Sputtertechniken zu produzieren. 601 hat einen modularen Aufbau, der eine Vielzahl von Konfigurationsoptionen ermöglicht, um Forschungs- und Industriebedürfnissen gerecht zu werden. Es ist eine echte DC-Sputtereinheit für Oxidation, Nitridation und andere Dünnschichtanwendungen. Die 6 "Zielmaschine verwendet fortschrittliche unausgewogene Magnetron-Sputterquellen, die optimiert werden können, um lange Lebensdauer, hohe Abscheidungsrate und reproduzierbare Ergebnisse zu liefern. Das Hochleistungs-HF-Abstimmgerät wurde entwickelt, um eine zuverlässige und wiederholbare Prozesssteuerung zu gewährleisten. CVC 601 umfasst einen Stromversorgungsabschnitt, Heizungen, Verschlusswerkzeug und eine Vakuumanlage mit Turbomolekularpumpen. Das Modell ist für die Steuerung von Kammerdruck, Basisdruck und Betriebsdruck ausgelegt und ermöglicht eine präzise Aufbereitung von Substraten auf die geforderten optimalen Druckwerte. Die präzise Steuerung der Betriebstemperaturen wird durch eine fortschrittliche PID-Steuerung mit hochpräzisem Pt1000 Widerstandsthermometer ermöglicht. Das Softwarepaket für das 601-System ermöglicht eine präzise Steuerung der Zielposition, der Substratposition und der HF-Stromversorgung. Der bordeigene Roboterarm ermöglicht die automatisierte Platzierung und Wiedergewinnung von Substraten für die Chargenverarbeitung. Weitere Merkmale sind eine automatisierte Prozesssteuerung, eine optische Rückkopplungszelle, ein Prozessüberwachungsmodul und eine Sicherheitsverriegelungsmaschine zur Gewährleistung der Bedienersicherheit. Darüber hinaus kann CVC 601 mit einem optionalen Schnellabschaltgasverteilungswerkzeug zum Evakuieren und Zurückfüllen der Kammer mit verschiedenen Gasen angepasst werden. 601 ist ein ideales Werkzeug für die Materialforschung, Dünnschichtabscheidung und Oberflächenbeschreibungen. Es eignet sich für verschiedene Anwendungen wie Solarzellen, Flachbildschirme, CMOS-Bildgebungsgeräte, Hartbeschichtungen und MEMS-Geräte. Die Kombination aus präziser Steuerung von Prozessparametern, einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen und vielseitiger Software bietet ein hervorragendes Benutzererlebnis.
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