Gebraucht CVC 601 #9123996 zu verkaufen

Hersteller
CVC
Modell
601
ID: 9123996
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6" Physical vapor deposition system (3) DC Cathodes locations (1) RF Etch location CVC - 10 KW DC power supply Plasmatherm RF generator Type HFS 1000E (1.1Kw) Control cabinet diffusion pump.
CVC 601 ist eine Sputterausrüstung, die bei der Dünnschichtabscheidung verwendet wird. Es ist ein Einkammer-Dual-Magnetron-System zur Steigerung der Effizienz und Flexibilität von Dünnschichtabscheidungsprozessen. Das Gerät verwendet eine einzige Hochvakuumkammer mit eingebauter eingebetteter Stromversorgung und HF-Generator für Dual-Magnetron-Sputtern. Es verfügt über eine rechteckige, offene Kammer, eine integrierte Entlüftung für zerstäubte Materialien, Gaseintrittsöffnungen an der Ober- und Unterseite der Kammer und eine vertikale Einstellstufe für das Substrat. Zum Abscheiden des Dünnfilms wird die Probe in die Kammer geladen und ein Vakuum eingestellt. Dann wird Argongas in die Kammer eingeleitet und durch zwei niederfrequente (13,56 MHz) HF-Generatoren magnetrongesputtert. Sowohl die Leistung als auch die Frequenz der Magnetrons können für eine optimale Beschichtung eingestellt werden. Die Substrate werden auf eine Plattform gelegt, die in dem gewünschten Abstand von den Magnetron-Targets eingestellt ist. Die HF-Leistung wird auf den gewünschten Wert hochgefahren und das zerstäubte Material auf dem Substrat gesammelt, wenn eine Abscheidebeschichtung gewünscht wird. 601 Sputtermaschine ist hocheffizient und kann für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsprozessen verwendet werden. Es verfügt über hohe Abscheidegeschwindigkeiten und geringe Substrataufladung, was es ideal für die Abscheidung von hochwertigen Dünnfilmen auf einer Vielzahl von Substraten macht. Die große Kammergröße ermöglicht das Zerstäuben mehrerer Substrate oder ein noch größeres Substrat für größere Beschichtungen. Das Werkzeug unterstützt auch hohe Abscheideraten mit einem großen Bereich von Magnetron-Leistungsabgaben und die Fähigkeit, sich sowohl bei hohen als auch bei niedrigen Temperaturen abzuscheiden. Darüber hinaus verfügt das Asset auch über fortschrittliche Prozesse wie Co-Deposition und reaktives Sputtern. Insgesamt ist das Modell CVC 601 ein leistungsstarkes und effektives Werkzeug für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es ist ein hocheffizientes und flexibles Werkzeug, das qualitativ hochwertige Beschichtungen auf einer Vielzahl von Materialien ablegen kann.
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