Gebraucht CVC AST 601 #50089 zu verkaufen
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ID: 50089
Batch type sputter tool
Specifications:
Chamber: 25 x 7"
(1) 8" target, (3) targets blanked off
Diffusion pumped
RF generator, 1kW
LEYBOLD roughing pump
MINAREK SL-15V speed controller
GIC-410 ion gauge controller
GP-310 Pirani gauge
AVC 485 auto valve controller
Process timer
KR11 autotune power supply
Plasma starter control.
CVC AST 601 ist eine Einzylinder-Sputterausrüstung, die für die Materialabscheidung in Forschungs- und Entwicklungsanwendungen entwickelt wurde. Das System ist in einer Vielzahl von Konfigurationen verfügbar, um verschiedene Mustertypen und Anwendungen zu erfüllen. Das Gerät verwendet eine leistungsstarke Turbo Molecular Pump (TMP), um eine Vakuumkammer zu schaffen, in der die Abscheidung stattfindet. Der TMP ist in der Lage, bis zu 0,09 mbar Vakuum innerhalb der Kammer zu erreichen. Um eine konsistente Abscheidung zu gewährleisten, ist die Maschine mit einem Gaspanel ausgestattet, das mit programmierbaren Parametern wie Druck, Gas und Gasdurchfluss voreingestellt ist. Die Prozesskammer ist eine große, externe Kuppel, die Proben bis zu 9 cm (3,5 Zoll) Durchmesser aufnehmen kann. AST 601 ist für den manuellen Betrieb ausgelegt und erfordert eine minimale Einrichtung. Das Werkzeug wird standardmäßig mit einer HF-Stromquelle zur Glühentladungsreinigung geliefert. Die Kammer kann ohne Öffnen des Ventils geladen werden, und die Anlage verfügt über eingebaute Absperrventile, automatische Abschaltungen sowie Temperatur- und Drucksensoren. CVC AST 601 ist eine ideale Wahl für Anwender, die dünne Folien oder Beschichtungen auf Proben im Labor oder in der Industrie sputtern möchten. Mit seinem Gaspanel und seiner Stromquelle können Benutzer alle Parameter, die die Abscheidung beeinflussen, genau steuern. Darüber hinaus ermöglicht die Vielseitigkeit des Modells eine schnelle und einfache Installation von Zielmaterialien für die Abscheidung. AST 601 ist kompatibel mit verschiedenen Zielmaterialien, einschließlich Metallen, Legierungen und Kunststoffen. Aufgrund seiner relativen Einfachheit und Flexibilität ist CVC AST 601 die ideale Wahl für Anwender, die eine effiziente, zuverlässige Sputterausrüstung mit einfacher Einrichtung und Bedienung suchen. Sein langlebiges Design, sein leistungsstarkes Gaspanel und seine erweiterbare Größe machen AST 601 zur perfekten Lösung für Forschungs- und Industrieanwendungen.
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