Benutzt CVC AST 601 #50089 zu verkaufen

ID#: 50089

Hersteller:

CVC

Modell:

AST 601

Ausstattungsmerkmale:

Batch type sputter tool

Specifications:
Chamber: 25 x 7"
(1) 8" target, (3) targets blanked off
Diffusion pumped
RF generator, 1kW
LEYBOLD roughing pump
MINAREK SL-15V speed controller
GIC-410 ion gauge controller
GP-310 Pirani gauge
AVC 485 auto valve controller
Process timer
KR11 autotune power supply
Plasma starter control.
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