Gebraucht ELECTROTECH MS 6210 #9396125 zu verkaufen

ELECTROTECH MS 6210 ist eine Hightech-Sputterausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde, die eine Dünnschichtabscheidung erfordern. Dieses System ist ein unschätzbares Stück Technologie für zahlreiche Branchen, von der Halbleiterverarbeitung bis zur Energiespeicherung. MS 6210 besteht aus verschiedenen Komponenten. Zu den Hauptelementen gehören ein einstellbares HF/DC-Netzteil mit einem Ausgang von bis zu 1000W und ein einstellbares Hochspannungsnetzteil, das zur Leistungssteigerung oder Leistungsüberschreitung eines vorgegebenen Pegels verwendet werden kann. Das Gerät kann mit zwei 5-Zoll oder 9-Zoll-Sputterquellen, einer 1-Zoll-Ionenquelle und einem 1-Zoll-drehbaren Substrathalter ausgestattet werden. Die Basis der Sputterquelle besteht aus Aluminium und ist für nahezu geräuscharmen Betrieb und geringe Wärmeentwicklung ausgelegt. Die Temperatur von ELECTROTECH MS 6210 kann über die eingebaute Temperaturmessung und Steuerung überwacht und gesteuert werden. Die Sputtermaschine verfügt über eine Vakuumkammer, die bis zu 10-5 Torr (.00001 Pascal) Vakuum aufnehmen kann. Der in der Kammer erreichbare Arbeitsdruck beträgt bis zu 4 x 10-3 Torr. Die Bedienung des Sputterwerkzeugs wird durch ein Windows-basiertes Steuerungsgut geregelt, das über ein Fußpedal zugänglich ist. Der Sputterprozess selbst wird durch reaktive Sputterabscheidung angetrieben, die zwei niederdruckgekoppelte, hochfrequenzgekoppelte Sputterquellen verwendet. Die reaktive Sputterabscheidung ist ein Verfahren zum Abscheiden dünner Filme durch Sputtern eines Zielmaterials in einer kontrollierten Atmosphäre in einen wachsenden dünnen Film auf einem Substrat. Dadurch können stark stöchiometrische, homogene Dünnschichten mit hoher Dichte und totaler Kontrolle der Filmzusammensetzung aufgebaut werden. MS 6210 ist ideal für die Ablagerung von C, W, Al, TiN, CrN, Ti und Ni-Legierungen. Sekundäre Prozesse wie Ätzen, ionenunterstützte Abscheidung und thermische Oxidation können mit reaktiver Sputterabscheidung integriert werden, um eine zusätzliche Kontrolle der Filmeigenschaften wie Brechungsindex, Oberflächenstruktur und Härte zu ermöglichen. Abschließend ist ELECTROTECH MS 6210 ein äußerst vielseitiges Sputtermodellpaket, das eine hervorragende Kontrolle über eine Reihe von Dünnschichtabscheidungsprozessen bietet. Seine einstellbare HF/DC-Stromversorgung, einstellbare Hochspannungsversorgung, Temperaturmessung und -steuerung, integrierte Vakuumkammer und Windows-basierte Steuergeräte machen es zu einer guten Wahl für jede Sputteranwendung.