Gebraucht EMITECH / EDWARDS K575X #293608604 zu verkaufen

EMITECH/EDWARDS K575X ist eine Sputteranlage zum Aufbringen von dünnen Schichten auf Substraten. Es besteht aus vier Hauptkomponenten: einem leistungsstarken Netzteil, einer Ionenquelle, einer Ionenoptik und einer Vakuumkammer. Die Stromversorgung liefert die notwendige Spannung, bis zu 5 Kilovolt, um eine Plasmafläche mit Ionen und Elektronen zu erzeugen. Die Ionenquelle ist eine Anordnung von koaxialen Glimmentladungselektroden, die ein gleichmäßiges Plasmafeld mit niedrigem Druck und geringer Emission bereitstellen. Die aus einem inneren und einem äußeren Gitter bestehende Ionenoptik dient dazu, die Ionen zu filtern und ein gleichmäßiges Ionenbeschuss des Substrats zu gewährleisten. Die Vakuumkammer ist abgedichtet und soll eine gewünschte Atmosphäre erhalten und während des Abscheideprozesses das gesamte zerstäubte Material enthalten. EMITECH K575X System ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden, einschließlich Metalle, Oxide, Nitride und Legierungen. Zur schnellen, kostengünstigen Abscheidung von Dünnschichtschichten können Metallfolien mit hohen Abscheidungsraten abgeschieden werden. Das gesputterte Material ist sehr gleichmäßig und enthält keine Nadelöcher, Drift oder Risse. Oxide, Nitride und Legierungen können mit geringeren Geschwindigkeiten, aber mit erhöhter Gleichmäßigkeit abgeschieden werden. Die Kammer soll optimale Bedingungen für die Abscheidung einschließlich Druck, Prozessgasen, Zielspalt und Substrattemperatur aufrecht erhalten. Die Kammer ist verschmutzungsfähig und erfordert eine regelmäßige Reinigung, um eine optimale Abscheidung des gewünschten Materials zu gewährleisten. Das Gerät kann mit SEMI-Standardprozessen automatisiert werden und ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Produktionslinien. Für spezifische Prozesse stehen verschiedene Zubehörteile wie Minikammern, Substrathalter und Prozessmodule zur Verfügung. EDWARDS K575X ist eine ideale Maschine zur Herstellung von großflächigen Substraten, feinkörnigen Mehrschichtfolien und präzisen Beschichtungen für eine Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen. Das Werkzeug ist auch in der Lage, hochzuverlässige Daten zu erzeugen, einschließlich Dicke, Gleichmäßigkeit und andere Parameter für eine optimale Steuerung des Abscheidungsprozesses.