Gebraucht EMITECH / EDWARDS K575X #293608605 zu verkaufen

EMITECH/EDWARDS K575X ist ein High-End-Sputtersystem für die Abscheidung von dünnen Schichten aus Materialien wie Metallen, Legierungen und Oxiden für eine Vielzahl von Forschungs- und Industrieanwendungen. Das System besteht aus einer HF-Stromquelle, einer Magnetronquelle, einer Vakuumkammer und einem Prozessgasregler. Die HF-Stromquelle ist eine Festkörper-Hochleistungsquelle mit einer Frequenz von 13,56 MHz und einer maximalen Ausgangsleistung von 35 kW. Dadurch lassen sich Dicken- und Beschichtungsparameter großflächig präzise steuern. Die Magnetronquelle steuert mit Permanentmagneten die Plasmaform und verfügt über eine einstellbare Stromversorgung und Abstimmsteuerung zur Steuerung der Plasmaparameter. Hierdurch wird eine großflächige gleichmäßige Abscheidung des Zielmaterials erreicht. Die Vakuumkammer ist aus Edelstahl gefertigt und hat eine Kapazität von 2 m3, mit einem Basisdruck von weniger als 5x10-5 mbar. Es ist kompatibel mit verschiedenen Arten von Substraten, einschließlich flacher oder zylindrischer Substrate, mit einer Substratgröße von bis zu 200mm Durchmesser. Es enthält auch einen Gaseinlaß und Abgas, wodurch ein reaktives Gas während des Zerstäubungsprozesses für verbesserte Filmeigenschaften zugegeben werden kann. Der Prozeßgasregler ermöglicht eine Einstellung des Prozeßgasdrucks, der mit einem Inline-Manometer schnell überwacht werden kann. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der zur Erzielung gewünschter Folieneigenschaften erforderlichen Prozessparameter. Darüber hinaus verfügt es über eine Dual-Zone-Funktion, die es ermöglicht, verschiedene Parameter auf verschiedene Substratbereiche im gleichen Lauf anzuwenden. EMITECH K575X ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Sputtersystem mit vielen Funktionen, die einen effizienten und präzisen Sputterprozess ermöglichen. Es eignet sich für den Einsatz in der Forschung und in industriellen Anwendungen, wie die Abscheidung von dünnen Schichten für Halbleiter- und optoelektronische Bauelemente.