Gebraucht EMITECH / EMCORE K575X #9250890 zu verkaufen

EMITECH/EMCORE K575X Sputtering Equipment ist ein vielseitiges Multiziel-Massenproduktionswerkzeug mit einer einzigartigen Sputterabscheidungstechnologie. Es ist für Abscheidungsanwendungen wie Barriere-/Haftschichten und Metallschichten in der Halbleiterindustrie konzipiert. Sein Design bietet Flexibilität und hohe Produktivität mit überlegener Prozesssteuerung, minimaler Wartung und hochreiner Abscheidung. Das System nutzt EMCORE patentierte Magnetron Sputtern Abscheidungsprozess, die eine kontrollierte, gleichmäßige Abscheidung über mehrere Substrate erzeugt. Diese Technologie bietet eine gleichmäßige Abscheidungsrate, Richtfrequenz und geringere Elektronenstrahlung, was zu einer besseren Gleichmäßigkeit führt. Zusätzlich reduziert der Einsatz von Magnetronen den Materialaufwand, da die Sputterziele stationär bleiben und nie ausgetauscht werden müssen. Die EMCORE K575X Einheit ist mit einer Fünf-Ziel-Sputterkathode mit direktem Antrieb ausgestattet, die jeweils mit bis zu vier Sputterzielen beladen werden kann. Diese Direktantriebsmaschine ermöglicht hohe Abscheideraten bei gleichmäßiger Abdeckung. Es bietet auch eine breite Palette von Verarbeitungszeiten und flexible Rezepte, um die Anforderungen der Produktionsarbeitslasten zu erfüllen. EMITECH K575X verwendet Präzisionsbewegungsregler und ein Automatisierungswerkzeug, um die Bewegung der Sputterkathode zu steuern. Dies ermöglicht eine exakt kontrollierte Schichtzusammensetzung und -dicke sowie die Möglichkeit, komplexe Schichten für maximale Prozesseffizienz zu programmieren. Das Asset verfügt auch über zwei unabhängige Ionenquellen mit einer Reihe von Strahlenergien, Strömen und Strahlgeometrie, um die Qualität der Abscheidung zu maximieren. Die Sputterkammer ist mit integrierter Hochgeschwindigkeitsbearbeitung, rückseitiger Kühlung von Substraten und Dreh- und Neigungswinkelmerkmalen ausgestattet. Dies gewährleistet eine präzise, homogene Beschichtungsabdeckung auf einer Vielzahl von flachen Substraten, einschließlich Halbleiterscheiben für Photovoltaikzellen und Speicherbauelemente. K575X wird von einem Reinraum-Umwelt-Netzteil mit zusätzlicher Abschirmung für maximale Sicherheit angetrieben. Darüber hinaus ist das Modell auf globale Sicherheitsstandards ausgelegt und kann in Prozessleitsysteme wie APC/MPC integriert werden. Insgesamt ist EMITECH/EMCORE K575X Sputtergeräte ein einfach zu bedienendes, zuverlässiges und effizientes Sputterabscheidungswerkzeug. Es ist ideal für Hochdurchsatz-Beschichtungs- und Barrier/Adhäsionsschicht-Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es bietet Präzision und kostengünstige Abscheidung bei hohen Durchsatzraten bei maximaler Sicherheit in der Reinraumumgebung.