Gebraucht EVATEC Radiance BPM5 #293650365 zu verkaufen

Hersteller
EVATEC
Modell
Radiance BPM5
ID: 293650365
Weinlese: 2014
System 2014 vintage.
EVATEC Radiance BPM5 ist eine Hochleistungs-Magnetron-Sputteranlage zur Abscheidung von leitfähigen, temperaturempfindlichen und extrem dünnen Materialien auf großen Substraten. Es ist auf höchste Gleichmäßigkeit und Kosteneffizienz im Bereich der Dünnschichtabscheidung ausgelegt. Es ist eine fortschrittliche Plattform, die überlegene Präzision, niedrigen Sputterleistungsverbrauch, hohe Abscheidungsrate und ausgezeichnete Reproduzierbarkeit kombiniert. Radiance BPM5 ist mit einem variablen Leistungsedelgasgenerator, einer Hochleistungssputterpistole, einer Vakuumkammer, hochpräzisen Bewegungssystemen, einem Revolversputterdepotterzentrum und einem Vakuumpumpsystem ausgestattet. Der Edelgasgenerator mit variabler Leistung sorgt für eine gleichmäßige Verteilung des Argongases über das gesamte Zielgebiet, während die Sputterpistole dazu dient, das Target zu aktivieren und zu schmelzen und auf dem Substrat zu haften. Die Kombination aus hochpräzisen Bewegungssystemen, Revolversputtern und Vakuumpumpeinheit ermöglicht einen präzisen und präzisen Abscheidevorgang. EVATEC Radiance BPM5 hat die Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien einschließlich leitfähiger und temperaturempfindlicher Materialien mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit abzuscheiden. Die Abscheidegleichmäßigkeit wird durch die horizontale Bewegung des Targets ohne Erwärmung erreicht. Darüber hinaus sorgt die Kombination aus geringem Sputterleistungsverbrauch und hoher Abscheiderate für eine schnelle und effiziente Abscheidung der benötigten Materialien. Die Zielvorbereitung ist ein wichtiger Bestandteil in der Sputtermaschine und Radiance BPM5 ist darauf ausgelegt, dies zu berücksichtigen. Es verwendet einen Zielvorbehandlungsprozess, der die Oxidation des Ziels verhindert und so zuverlässige Ergebnisse gewährleistet. Darüber hinaus ist das Tool mit einer automatisierten Ziel-Swap-Funktion ausgestattet, die eine einfache Vorbereitung mehrerer Ziele ermöglicht und Ausfallzeiten während des Sputtervorgangs drastisch reduziert. Neben seinen Abscheidefunktionen bietet EVATEC Radiance BPM5 auch erweiterte Monitor- und Steuerungsfunktionen, um zuverlässige und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Es wird mit einem integrierten Controller und einem Datenlogging-Asset geladen, mit dem der Benutzer die Prozesse in Echtzeit genau überwachen, messen und analysieren kann. Dies wiederum ermöglicht eine schnellere Fehlerbehebung und Optimierung des Prozesses und ermöglicht so eine verbesserte Ausbeute und Gleichmäßigkeit. Zusammenfassend ist Radiance BPM5 ein fortschrittliches Sputtermodell, das eine bemerkenswerte Abscheidungsgleichförmigkeit, einen niedrigen Sputterleistungsverbrauch, eine hohe Abscheidungsrate und eine ausgezeichnete Reproduzierbarkeit bietet. Es ist ideal für die Abscheidung verschiedener Materialien auf großen Substraten und ist in der Lage, jedes Mal hohe Qualität und sehr zuverlässige Ergebnisse zu erzielen.
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