Gebraucht EVATEC Radiance #293650368 zu verkaufen

Hersteller
EVATEC
Modell
Radiance
ID: 293650368
System.
EVATEC Radiance ist eine vollständig integrierte, vielseitige physikalische Dampfabscheidung (PVD) Sputterausrüstung, die von EVATEC entwickelt wurde. Dieses System ist ideal für die Abscheidung von Metallen, Legierungen, Dielektrika und Nitriden auf einer Vielzahl von Substraten und verfügt über mehrere einzigartige Merkmale, die eine höhere Kontrolle, Flexibilität und Effizienz gegenüber herkömmlichen Systemen ermöglichen. Strahlung nutzt zwei verschiedene Komponenten für außergewöhnliche Sputterleistung: die Stromversorgung und die Prozesskammer. Das Netzteil kombiniert maximale Leistungsabgabe, Frequenzabstimmung, schnell wechselnde Zieltechnologien und fortschrittliche Steuerungsalgorithmen, wodurch Niedertemperaturabscheidungsoperationen und eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit gewährleistet sind. Die Kammer selbst ist mit mehreren Arten von Abscheidungsmaterialien kompatibel ausgebildet und weist einen optimierten Elektronenstrahl auf, der mit einer Target-Shunt-Box gekoppelt ist, wodurch sie in der Lage ist, dünnere oder dickere Filme bei niedriger Temperatur zu zerstäuben. Sein speziell entwickelter Isolatorstapel sorgt für einen hervorragenden Schutz vor Streumagnetfeldern und sorgt für eine gleichmäßige Materialzusammensetzung über das gesamte Substrat. Wie bei allen EVATEC-Systemen ist die EVATEC Radiance-Maschine mit einer benutzerfreundlichen grafischen Steuerungsoberfläche ausgestattet. Diese Schnittstelle ermöglicht eine einfache Anpassung aller Parameter an die Prozessanforderungen und kann auch zur Überwachung und Datenerfassung zur Qualitätskontrolle verwendet werden. Darüber hinaus erhöhen die integrierten Ziel- und Substratbeladungssysteme die Durchsatzgeschwindigkeit erheblich, sodass ein einzelner Wafer im Vergleich zu herkömmlichen Systemen bis zu dreimal schneller verarbeitet werden kann. Zusammenfassend ist das Radiance-Tool eine ideale Lösung für Anwendungen, die ultimative Sputterleistung erfordern. EVATEC Radiance kombiniert außergewöhnliche Funktionen, fortschrittliche integrierte Steuerungsalgorithmen, eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche und die Möglichkeit, schnell zwischen verschiedenen Materialanforderungen umzuschalten. Seine bemerkenswerte Flexibilität macht Radiance zur idealen Wahl für eine Vielzahl von Sputteranwendungen.
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