Gebraucht EVATEC Radiance #293650371 zu verkaufen

EVATEC Radiance ist eine hochmoderne Sputteranlage, die von EVATEC entwickelt wurde und hohe Abscheideraten mit außergewöhnlichen Gleichmäßigkeitsmessungen kombiniert. Die Geräte eignen sich besonders für industrielle Anwendungen wie Optik, Displays, Photovoltaik, Datenspeicherung und MEMS. Es verfügt über den patentierten DynamiK® -Zielaustauscher, das SputterFlow-Dual-Source-Netzteil und die Quick-Connect® -Zielhalterung. Der DynamiK® Zielaustauscher ist ein motorisierter Zielaustauscher mit einer Ziel-In/Ziel-Out-Zykluszeit von weniger als 50 Sekunden. Dies ermöglicht einen hohen Durchsatz und ein schnelles Umschalten zwischen den Zielen. Das SputterFlow Dual-Source-Netzteil wurde entwickelt, um reibungslose Stromübergänge beim Umschalten zwischen verschiedenen Zielen zu gewährleisten. Dies erhöht die Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schicht. Die Quick-Connect® Zielhalterung ist mit einem Schnellwechselmontagesystem und einstellbarer Zielhöhe ausgelegt. Dies erleichtert die einfache und schnelle Zielmontage und den Austausch. Neben seinem fortschrittlichen Design bietet die Radiance-Einheit auch eine breite Palette von Prozessparametern. Dazu gehören ein Ziel-Substrat-Abstand von bis zu 30 cm, ein Leistungsbereich von 10W bis 1500W, eine Anzahl von Quellgasen und ein Spaltschluss von bis zu 150 mtorr. Die Maschine wurde auch für Ultrahochvakuumanwendungen zertifiziert und bietet einen Basisdruck von 10-7 mtorr. Dies macht es ideal für die Abscheidung von ultradünnen Schichten. EVATEC Radiance ist mit einer Vielzahl von Kammergrößen erhältlich und kann manuell oder komplett automatisiert bedient werden. Es kann auch eine optionale Hochfrequenzquelle (RF) hinzugefügt werden, die eine verbesserte Abscheidungsgleichmäßigkeit und höhere Abscheideraten ermöglicht. Insgesamt bietet das Tool eine schlüsselfertige Lösung für Hochleistungs-Sputterprozesse.