Gebraucht EVATEC Radiance #293818719 zu verkaufen
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EVATEC Radiance ist eine hochmoderne Sputteranlage, die für verschiedene Anwendungen eingesetzt wird. Es verwendet ein einzigartiges Design, das die Vorteile der Pulsed DC (PDC) -Technologie mit HF-Sputterquellen mit niedrigem Magnetfeld kombiniert. Es verfügt über fünf Prozesskammern, die zu einem Inline-System zusammengeschaltet sind, das für komplexe Verarbeitungsanforderungen ausgelegt ist. Das Gerät enthält eine Doppelfrequenz-Stromversorgung, eine Niederdruck-Vakuumpumpe, eine Gaseinlassmaschine, ein Plasmaüberwachungswerkzeug und vier unabhängige PDC-Sputterquellen. Die Stromversorgung von Radiance ist in der Lage, mit Doppelfrequenz zu arbeiten, was es einem pulsierenden Modus ermöglicht, die Pulslänge, Leistungseinstellungen und den erforderlichen DC-Offset genau einzustellen. Die Vakuumpumpe wird verwendet, um den Druck in der Anlage aufrechtzuerhalten und das Gaseinlassmodell injiziert das erforderliche Gas für das Sputtern. Die Plasmaüberwachungseinrichtung liefert Echtzeitmessungen der Sputterleistung und der Plasmaprozessparameter. Die vier unabhängigen PDC-Sputterquellen dienen zur gleichmäßigen Ablagerung von Folien. Die verschiedenen Prozesskammern von EVATEC Radiance sind so konzipiert, dass sie optimale Gleichmäßigkeits- und Abscheideraten für spezifische Anwendungen liefern. Die Hauptkammer wird mit einem standardmäßig rotierenden Sputtertarget versorgt, das zur Abscheidung hochwertiger Folien verwendet wird. Die zweite Kammer enthält zwei feste Targets, die speziell für die Herstellung von Folien mit präzisen Abscheideprofilen ausgelegt sind. Die dritte und vierte Kammer sind mit Drei-Elektroden-Diodenquellen ausgestattet, die eine hochpräzise Adhäsions- und Textursteuerung ermöglichen. Die fünfte Kammer ist für die Herstellung reaktiver Filme ausgelegt und verfügt über spezielle Merkmale für die Plasmaaktivierung und verbesserte Ablösung. Strahlkraft ist ein zuverlässiges Sputtersystem, das den Anforderungen verschiedener Anwendungen gerecht wird. Es bietet ausgezeichnete Gleichmäßigkeit bei Filmabscheidungsraten, präziser Adhäsions- und Textursteuerung, präziser Leistungseinstellung und fortschrittlicher Gaseinspritzeinheit. Es bietet auch Echtzeit-Überwachung der Plasma-Prozessparameter sowie die Fähigkeit, die Leistungseinstellungen der PDC-Quellen zu überwachen und anzupassen. All diese Merkmale machen EVATEC Radiance zu einer geeigneten Wahl für verschiedene Anwendungen in Branchen wie Automobil, Elektronik und Medizinprodukte.
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