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EVATEC Radiance
Hersteller
EVATEC
Modell
Radiance
ID: 9144241
Weinlese: 2010
Sputtering systems 2010 vintage.
EVATEC Radiance ist eine Reihe von Sputtersystemen, die den Anforderungen der weltweit führenden Forschungsinstitute und der Industrie gerecht werden. Das Feature-Set von Radiance bietet überlegene Leistung in reaktiven und nicht-reaktiven Systemen, um dünne Filme für eine Vielzahl von Anwendungen herzustellen. Die Plattform basiert auf der revolutionären E- Layer™-Technologie, einer Methode der fortschrittlichen Materialabscheidung aus einer Vielzahl von Quellen, die höhere Qualität, strengere Kontrolle und kürzere Produktionszeiten ermöglicht. Die EVATEC Strahlungsplattform verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Komponenten, darunter eine fortschrittliche Stromversorgung, Prozesssteuerung, Zielleistung und einen luftgekühlten HF-Generator. Die Stromversorgung wurde für eine qualitativ hochwertige Sputterabscheidung mit einstellbaren Spannungs- und Stromwerten optimiert, die eine präzise Steuerung des Sputterprozesses ermöglichen. Der Controller bietet eine enge Prozesssteuerung, die eine genaue Reproduzierbarkeit sowie die Möglichkeit bietet, Parameter in Echtzeit zu überwachen und anzupassen. Der HF-Generator ist für optimales HF-Plasma für reaktive Prozesse ausgelegt, mit einstellbarer Leistung und Frequenz für die Anwendung. Strahlungssystem verfügt über eine Vielzahl von erweiterten Abscheidekammern, die größere Kapazität für die Produktionsvariabilität bieten, sowie erhöhte Flexibilität und verbesserte Abscheideraten. Durch die Verwendung mehrerer Kammern kann der Durchsatz erhöht und jeder spezifische Prozess präzise abgestimmt und ausgewertet werden, ohne andere Prozesse einzubüßen. Die Kammern sind so ausgelegt, dass sie gleichmäßige Dickenschichten bereitstellen und Ausgasungen und andere Abscheidungsfehler minimieren. Die EVATEC Radiance-Plattform enthält auch mehrere Funktionen, die die Sicherheit erhöhen, die Ergonomie verbessern und Ausfallzeiten reduzieren sollen. Die Sicherheitsmerkmale umfassen die automatische Überwachung von Prozessparametern, um sicherzustellen, dass eingestellte Ziele nicht überschritten werden, sowie umfangreiche Verriegelungen und automatische Abschaltung im Notfall. Die optimierte Ergonomie bietet eine einstellbare Arbeitshöhe sowie eine intuitive grafische Benutzeroberfläche. Die beiden unabhängigen Vakuum- und Prozessmotoren des Systems sind für eine längere Lebensdauer ausgelegt, und eine integrierte LAN-Verbindung ermöglicht eine schnelle Wartung, Systemüberwachung und Datenübertragung. Zusammenfassend ist Radiance eine umfassende, leistungsstarke Palette von Sputtersystemen, die den Anforderungen der heutigen führenden Forschungs- und Produktionsumgebungen gerecht werden. Durch die Kombination fortschrittlicher Funktionen und Komponenten bietet es eine überlegene Prozesskontrolle, eine qualitativ hochwertige Abscheidung sowie eine verbesserte Sicherheit und Ergonomie. Das Sortiment eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, von der Herstellung von dünnen Folien bis zur Herstellung von Sequenzsputterprodukten.
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