Gebraucht GILITEK IBSV-1030-V2 #9070264 zu verkaufen
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ID: 9070264
Ion Beam Sputtering (IBS) system
Targets: 2 / 4
Optical monitoring system
Cryo pump: SHI / CTI
Dry pump
Front / Back heaters
Coating temperature: 200ºC
Coating area: φ350 mm
(4) Planetary substrate holders, 6"
Target position: Adjustable program control during coating
Adjust shadow mask
Coating jig: Face down on chamber top / On chamber door
Feedback control for film thickness uniformity
Support substrate with and without center hole.
GILITEK IBSV-1030-V2 Sputtergeräte sind eine All-in-One-Quelle für physikalische, chemische und thermische Prozesse für die fortschrittliche Materialforschung. IBSV-1030-V2 wird mit zwei Netzteilen, einer Abscheidungsquelle, Vakuum, Kryopumpen und vier unabhängigen Sputter- und Verdampfungsquellen geliefert. Dieses System ist in der Lage, Folien mit einer Dicke von bis zu 5.000 Angström und einer konformen Abdeckung von bis zu 80% zu produzieren. GILITEK IBSV-1030-V2 verwendet eine Standard-Hochvakuumkammer, die für 1x10 Torr bewertet und mit einer leistungsstarken Diffusionspumpe ausgestattet ist, die einen Betriebsbasisdruck von 1x10-7 Torr erreichen kann. Ein unabhängiger View-Port, ein 4-Wege-Manipulator und eine Auto-Balancing-Einheit ermöglichen eine genaue Kontrolle und Positionierung innerhalb der Kammer. Die physikalische Sputterabscheidung wird durch die vier unabhängigen Quellen ermöglicht. Die Quellen sind sowohl zur flächigen als auch zur konformen Abscheidung von Metallen und Oxiden ausgebildet. Die Maschine ist in der Lage, Folien mit Dicken von wenigen Angströmen bis zu mehreren Mikrometern mit überlegener Haftung auf verschiedenen Substraten einschließlich Silikatgläsern und Polymeren herzustellen. Die CVD-Fähigkeiten werden durch die Einführung der neuen Dampfquelle verbessert. Diese Dampfquelle ist in der Lage, Metall Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) -Filme wie GaN oder MoS2 sowie andere Materialien wie Polymere und Kohlenstoff-Nanoröhrchen abzuscheiden. Es unterstützt auch Sublimation und chemische Unterstützung Ablagerungen einer Vielzahl von anderen Materialien mit einstellbarem Fluss und Temperaturregelung. Die thermischen Fähigkeiten werden über ein externes Heizelement mit einstellbarer Leistung und Temperatur ermöglicht. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Prozessen wie Glühen und schnelle thermische Verarbeitung. Insgesamt eignet sich IBSV-1030-V2 für eine Vielzahl von Forschungsanwendungen, einschließlich der Abscheidung von dünnen Filmen, der CVD-Abscheidung und der thermischen Verarbeitung von Materialien. Das Werkzeug ist in der Lage, hochwertige Folien mit optimaler Haftung und konformer Abdeckung herzustellen. Die fortschrittliche Hardware, gepaart mit fortschrittlicher Software, bietet ein hervorragendes Maß an Kontrolle und Flexibilität bei komplexen Prozessen. Mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Anwendungen zu unterstützen, ist GILITEK IBSV-1030-V2 eine ideale Bereicherung für Forschungseinrichtungen und Branchen gleichermaßen.
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