Gebraucht HABOR HWT-250 / PSA-15 #293666753 zu verkaufen

HABOR HWT-250/ PSA-15 Sputtergeräte sind für die Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten ausgelegt. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich der Herstellung von Halbleiterbauelementen, der Verpackung auf Waferebene, der Oberflächenmodifizierung und einer Vielzahl von Forschungs- und Entwicklungsprojekten. Das System besteht aus der Hauptkammer, die aus Edelstahl besteht und eine Pumpeinheit sowie eine Stromversorgung, eine Drehstufe und ein Bedienfeld umfasst. Das Vakuum wird durch eine Kombination aus Schrupppumpe und Turbomolekularpumpen erzeugt, die ein Vakuum von bis zu 10ˉ¹ mbar erzeugen. Der Abscheidevorgang wird durch die Magnetron-rf-Sputterquelle realisiert. Das Targetmaterial wird auf die gewünschte Temperatur erhitzt und anschließend auf das Substrat gesputtert. Die Temperatur des Zielmaterials kann über eine für unterschiedliche Materialien einstellbare Stromversorgung gesteuert werden. Die Stromversorgung kann hinsichtlich Frequenz und Ausgangsleistung eingestellt werden. Dies ermöglicht eine Präzisionskontrolle beim Ablegen unterschiedlicher dünner Folien. Das Bedienfeld ist benutzerfreundlich und ermöglicht die automatische Abscheidung und die Speicherung mehrerer Rezepte. Zusätzlich kann die Drehstufe zur Herstellung mehrschichtiger Folien auf einem einzigen Substrat verwendet werden. Die Gleichmäßigkeit der Abscheidung wird mit einem OES-Detektor überwacht, der die Zusammensetzung der Folie misst. Die Maschine ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die eine zuverlässige Filmabscheidung gewährleisten. Es verfügt über eine Werkzeugkühlung, um einen ordnungsgemäßen Betrieb bei schweren Belastungen zu gewährleisten. Eine schnelle Lastverriegelung ermöglicht schnelle Substratübertragungszeiten. Ein Luftlagermodell sorgt für eine gleichmäßige Drehung des Substrats und sorgt für einen reibungslosen Betrieb. Darüber hinaus bietet die Anlage eine Rückverfolgbarkeit auf das Baumaterial und eine Umweltkontrolle über Teile pro Milliarde Kontrolle. Dies gewährleistet saubere Abscheidungsprozesse und Gleichmäßigkeit des Produktes. Da das System für den Benutzer offen ist, können bei Bedarf manuelle Prozesse durchgeführt werden. Dazu gehören Dinge wie die manuelle Einstellung der Energiequelle, die Überwachung des Filmwachstums oder die genaue Steuerung der Abscheidezeit. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Diagnostika, die zur Fehlerbehebung eingesetzt werden können, wie Tests zur Oberflächenverunreinigung und Oxidation. HWT-250/ PSA-15 Sputtermaschine ist ein zuverlässiges, benutzerfreundliches und robustes Werkzeug zum gleichmäßigen und präzisen Abscheiden von dünnen Folien. Es ermöglicht die Erzeugung einer Vielzahl von dünnen Folien für zahlreiche Anwendungen. Das Werkzeug ist mit allen Funktionen für die hochpräzise Abscheidung von dünnen Folien ausgestattet.