Gebraucht HITACHI E-1010 #293638499 zu verkaufen

HITACHI E-1010
Hersteller
HITACHI
Modell
E-1010
ID: 293638499
Ion sputtering systems.
HITACHI E-1010 ist eine hochmoderne Sputteranlage, die in Labors für eine Vielzahl von Forschungs- und Entwicklungsanwendungen eingesetzt wird. Das System ist eine geschlossene Einheit, die Vakuumsubstratabscheidung von beiden Seiten eines Substrats handhaben kann, mit Plänen für Wachstum und Expansion der Einheit auf größere, komplexere Substrate. Es ist mit einer hochmodernen elektrostatischen Abschirmung zur Niederspannungs- und Niederintensitätsdiffusion von Ionen und Partikelbahnen ausgestattet, die empfindlichen Substraten und Komponenten einen überlegenen Schutz bietet. Die Sputterpistole enthält eine Graphitauskleidung, die eine große Anzahl von Graphitbogenfilamenten aufweist, die einen gleichmäßigen und glatten Übergang des Sputtermaterials ermöglichen. Die Lichtbogenfilamente erstrecken sich über die Pistole und sorgen für einen gleichmäßigen Sputtervorgang. Die Sputterpistole enthält einen Doppelpunktabschnitt mit einer Vier-Elektroden-Maschine, die in der Lage ist, Hochstrom-Hochpuls-Leistungsabscheidung bereitzustellen. Dieses speziell für kleine und große Partikel entwickelte Werkzeug bietet ultraschnelle Beschichtungsleistung bei minimaler Erwärmung der Komponenten. HITACHI E1010 beinhaltet auch eine doppelt beendete Ätzfunktion, die sowohl Parallel- als auch Querschnittsätzen ermöglicht. Dies ermöglicht die genaue Analyse und Inspektion des Substrats bzw. Bauteils nach dem Sputtervorgang. Zu diesem Asset gehört auch ein Roboterarm, der im dreidimensionalen Raum arbeiten kann, so dass der Substrattisch leicht eingestellt und der Zugriff auf die Sputterpistole aus jedem Winkel einfach ist. E-1010 ist ein vollautomatisches Sputtermodell mit Planungs- und Überwachungsfunktionen, Automatisierung für die Pistole und das gesamte Substratmanagement sowie einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI). Die flexible, einfach zu bedienende Software ermöglicht auch die Dateneingabe und -aufzeichnung mit einstellbaren Sputterparametern und dem gesamten Gerätemanagement. Es verfügt auch über unabhängiges Batch-Management und Rezeptmanagement sowie Echtzeit-Druck- und Temperaturmanagement. Vor allem verfügt E1010 über eine fortschrittliche Diagnose durch ein Druckmonitor II-System in Laborqualität. Dieses Gerät liefert eine genaue Druckrückkopplung und zeigt die optimalen Sputterbedingungen auf allen Stufen des Prozesses an. Zusätzlich kann die Maschine entweder auf einer Vakuumkammer oder einer bajonettartigen Sputterpistole betrieben werden, wodurch sie an verschiedene Arten der Substratabscheidung angepasst werden kann. Insgesamt ist HITACHI E-1010 ein fortschrittliches Sputter-Tool, das präzise und wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen liefert. Mit ihrer leistungsstarken Sputterpistole, simultaner Ätzintegration, Automatisierungsfunktionen und Drucküberwachungsfunktionen ist sie eine umfassende und umfassende Bereicherung für eine präzise Substratabscheidung.
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