Gebraucht HITACHI E-1010 #9379359 zu verkaufen

HITACHI E-1010 Sputtering Equipment ist ein vielseitiges, hochpräzises Sputtergerät für Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es ist ein wirtschaftliches und hochautomatisiertes Werkzeug, das sowohl für Forschungs- als auch für Produktionsanwendungen eingesetzt werden kann. HITACHI E1010 ist ein skalierbares System, das Lösungen für die Abscheidung von Metallen, Oxiden und Nitriden anbietet. Die Einheit verfügt über einen 7-achsigen Roboterarm, mit dem gleichmäßige Materialschichten auf Substraten unterschiedlicher Größe und Form abgeschieden werden können. Mit einer maximalen Substratgröße von 192 mm x 192 mm und einem maximalen Substratgewicht von 30kg können E-1010 verschiedene Substrate handhaben, einschließlich starrer, flexibler und gebogener Teile. Es können hohe Seitenverhältnisse von bis zu 5:1 erreicht werden und es wird Unterstützung für mehrschichtiges konfokales Sputtern angeboten. E1010 Maschine ist mit einer plasmaverbesserten Sputterquelle ausgestattet. Dies ermöglicht erhöhte Abscheideraten, was zu einem höheren Durchsatz und einer verbesserten Substratabdeckung führt. Die Sputterquelle kann auch verwendet werden, um mehrere Schichten in einem einzigen Abscheidungsschritt abzuscheiden, wodurch die Vielseitigkeit des Werkzeugs weiter vorangetrieben wird. Die Sputteranlage des E-1010 bietet eine breite Palette von Prozesskontrollparametern für die Zielauswahl, Foliendicke, Ätz- und Abscheideraten. Automatisierte Rezepte können für effizientere Operationen gespeichert und zurückgerufen werden, und eine Echtzeit-Überwachung der Zielerosion und der Filmdicke ist möglich. HITACHI E-1010 unterstützt mehrere Kammerkonfigurationen, so dass mehrere Sputterquellen gleichzeitig betrieben werden können. HITACHI E1010 wurde für Zuverlässigkeit und einfache Erweiterbarkeit gebaut und verfügt über einen kompakten und robusten Rahmen in modularer Bauweise. Das Modell ermöglicht auch die Anpassung mit einer Auswahl an Zubehör, wie Mikropositionierer, Elektronenkanonen und Substrat-Handhabungssysteme. Insgesamt ist E-1010 Sputterausrüstung ein kostengünstiges und vielseitiges Sputterwerkzeug, das für Anwendungen entwickelt wurde, bei denen hohe Präzision und Reproduzierbarkeit erforderlich sind. Das System ist einfach zu bedienen, zuverlässig und bietet schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeiten. Darüber hinaus unterstützt das Gerät mehrere Konfigurationen und eignet sich somit ideal für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen.