Gebraucht HITACHI E-1030 #9377261 zu verkaufen

HITACHI E-1030 ist eine Hochleistungs-DC-Hybride stottern Absetzungsausrüstung, die eine Kombination der Geschwindigkeit, Gleichförmigkeit und Prozessflexibilität anbietet. Es ist ein leistungsfähiges Werkzeug zur Sputterabscheidung von dünnen Filmen auf Substraten wie Halbleitern, Glas und anderen Materialien. Im Kern verwendet E-1030 hochfrequente AC/DC-Leistungsschalter und einen linearen DC/DC-Wandler zur Leistungsregelung. Dieses leistungsstarke System ist in der Lage, bis zu 1.5kW Sputterleistung über fünf Sputterquellen mit jeweils einem einstellbaren Zielleistungspegel von 0,5 bis 200W zu liefern. Das Gerät verfügt außerdem über eine optionale automatische Zielleistungsregelung zur gleichmäßigen Filmabscheidung. Der einzigartige lineare DC/DC-Wandler von HITACHI E-1030 ermöglicht auch einstellbare Sputterabscheidungsraten von 0,1 bis 100 nm/min. Die Maschine ist in der Lage, Oxide, Metalle und andere Materialien mit einem hohen Grad an konformer Beschichtung und Merkmalsdefinition zu produzieren. Die einstellbaren Sputterquellen von E-1030 sorgen für eine gleichmäßige Abscheidung von dünnen Filmen unabhängig von der Substratgröße. Die automatische Leistungssteuerung des Werkzeugs stellt sicher, dass Ablagerungen unabhängig von der Substratgröße auf der richtigen Zielleistungsstufe erfolgen. Die Mehrzonenfähigkeit von HITACHI E-1030 ermöglicht es Benutzern, separat an mehreren Orten oder Bereichen innerhalb desselben Substrats zu sputtern. Das Asset beinhaltet auch ein automatisches Ausrichtungsmodell zur genauen Ausrichtung und Abscheidung von dünnen Filmen auf Substraten. E-1030 ist darauf ausgelegt, qualitative Abscheideraten und eine verbesserte Prozesskontrolle anzubieten. Die automatische Verriegelung sorgt für Prozessstabilität und Prozesswiederholbarkeit. Das integrierte Bedienfeld des Systems zeigt die Abscheideparameter in Echtzeit an und ermöglicht eine schnelle und einheitliche Prozesssteuerung. Darüber hinaus ermöglicht eine fortschrittliche Echtzeit-Monitoreinheit die Überprüfung der Prozessdaten und die Prozessoptimierung. HITACHI E-1030 ist eine sehr vielseitige Maschine, die sich ideal für eine Vielzahl von Sputter-Abscheidungsanwendungen eignet. Mit seinem hohen Strom, hohen Durchsatzraten, schnellen Leistungsschaltungen und flexibler Prozesssteuerung ist E-1030 eine gute Wahl für die Sputterabscheidung.