Gebraucht INNOTEC DS 24 #2736 zu verkaufen
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ID: 2736
Diode Sputter System
14" round target, RF etch, can demo
Missing pumps, RF generator, turbo and controller
Unit is in storage.
INNOTEC DS 24 ist eine leistungsstarke Sputterausrüstung, die für große und kleine Ziele geeignet ist. Das Sputtersystem wird mit einer 24kW DC-Zielstromversorgung betrieben und eignet sich sowohl für Produktions- als auch für Forschungsanwendungen. Es verfügt über eine erweiterte Prozesssteuerungs- und Überwachungseinheit, wodurch es einfach ist, die Sputterparameter zu steuern und anzupassen. Dadurch ist der Prozess wiederholbar und reproduzierbar für gleichbleibend hohe Qualitätsergebnisse. Die Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu zerstäuben und kann dünne Filme bis zu 100 nm dick ablegen. Die vielseitige Sputterkammer kann mit mehreren Targets ausgebildet sein und ist für verschiedene Größen und Formen geeignet. Die Kammer ist auch mit benachbart angeordneten Quellen- und Substrathaltern ausgestattet, was eine große Flexibilität bei der Positionierung von Substraten und Targets ermöglicht. DS 24 verfügt über mehrere Kühloptionen, darunter schnelle Sweep und langsame Sweep-Kühlkonfigurationen. Es verfügt auch über ein hochpräzises EDAX EDXRF-Energiedispersionsspektrometer, das eine schnelle Bestimmung der elementaren Zusammensetzung von Sputterfilmen ermöglicht. Das EDAX-Tool bietet zudem eine Hochgeschwindigkeitsanalyse mit seinem Hochgeschwindigkeitsspektrometer und einem Durchsatz von bis zu 15 Proben pro Stunde. Die Sputteranlage verfügt zudem über ein eigenes Vakuum-Modell, das mit einer 18 m3/h Turbomolekularpumpstation ausgestattet ist. Dadurch wird sichergestellt, dass die Sauberkeit der Anlage erhalten bleibt und optimale Arbeitsbedingungen für die Dünnschichtabscheidungsprozesse gewährleistet sind. Darüber hinaus bietet INNOTEC DS 24 intelligente Alarmierungs- und Überwachungssysteme, die eine frühzeitige Erkennung von Systemfehlern ermöglichen und Zeit lassen, um die Probleme zu beheben, bevor sie schwerwiegend werden. Darüber hinaus verfügt es über eine Sammlung von Tools zur Prozessüberwachung, mit denen Forscher ihre Prozesse optimieren und ihre Abscheidungsparameter feinjustieren können, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Insgesamt ist DS 24 eine fortschrittliche, aber benutzerfreundliche Sputtereinheit, die zuverlässige und wiederholbare Prozessleistung bietet. Es eignet sich für anspruchsvolle Produktions- und Forschungsanwendungen, und seine intelligenten Systeme machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug im Dünnschichtabscheidungsbereich.
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