Gebraucht INNOTEC VS-24C #190502 zu verkaufen

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Hersteller
INNOTEC
Modell
VS-24C
ID: 190502
High vacuum batch vertical sputtering chamber system Includes: Controllers Power supplies Cryopump Targets: Al Cu, Ta, Hf B2.
INNOTEC VS-24C Sputteranlage ist ein vollständig integriertes und automatisiertes Gerät, das für alle Prozesse im Zusammenhang mit der physikalischen Bedampfung (PVD) von Dünnschichtmaterialien verwendet wird. Es ist eine Online-Vakuum-Abscheidungslösung, die über ein breites Prozessfenster verfügt und für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. VS-24C ist ein Multi-Source-Mehrkammersystem, das mit der neuesten PVD-Technologie ausgestattet ist, wie fortschrittliche Abscheidungssteuerungen und Diagnosen, einschließlich Shutterless und Nitrid-Abscheidungsfunktionen. Es verfügt auch über eine intuitive Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche (GUI) und ein flexibles modulares Design für kundenspezifische Konfiguration. Die Einheit ist für die PVD sowohl aus dielektrischen als auch aus Halbleitermaterialien ausgelegt. Das optimierte Prozessfenster und die Prozessregelung sorgen für eine einheitliche Filmqualität und Dickenkontrolle. Der modulare Aufbau ermöglicht die Addition von bis zu vier getrennten Kammern, wodurch Anwender flexibel in Bezug auf den Umfang der Abscheidung und Produktionskapazitäten. INNOTEC VS-24C ist in der Lage, qualitativ hochwertige, zuverlässige Abscheidungsergebnisse zu liefern und hat ein spezifisches Design für maximalen Durchsatz und Produktausbeute. Die unterschiedlichen Quellkonfigurationen und Substratgrößen erlauben es, den jeweiligen Prozessanforderungen gerecht zu werden. Die Maschine führt zeitgesteuerte, kreisförmige und segmentierte rotierende Sputterprozesse durch und verfügt über eine breite Palette von Sputterraten, einschließlich einer erweiterten Zwei-Quellen-Zwei-Ziel-Konfiguration. Es enthält auch eine mikroprozessorgesteuerte variable Stromquelle, die eine präzise Steuerung der Filmabscheidungsparameter ermöglicht. VS-24C ist ein fortschrittliches PVD-Tool mit hohen Automatisierungs- und Steuerungsgraden, mit dem Benutzer die Bearbeitungszeit reduzieren und die Ablagerungsraten erhöhen können. Sein durchdachtes Design und sein umfassendes Leistungsangebot sorgen für maximale Kundenzufriedenheit.
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