Gebraucht ISI PS 2 #126408 zu verkaufen

ISI PS 2
Hersteller
ISI
Modell
PS 2
ID: 126408
Sputter coater.
ISI PS 2 Sputtergeräte sind ein hochmodernes Werkzeug zur fortschrittlichen Dünnschichtabscheidung. Es verwendet Vakuumverdampfungs- und Sputterverfahren, um ultradünne Materialschichten auf Substraten abzuscheiden. Das Sputterverfahren erfordert die Verwendung eines Inertgases (normalerweise Ar oder Xe) zusammen mit einem elektrischen Strom, der eine intensive Ionisation bewirkt. Diese Ionisation bewirkt einen energetischen Partikelbeschuss und anschließende Erosion des Zielmaterials, das sich dann als ultradünne Schicht auf dem Substrat abscheidet. PS 2 ist ein vollständig konfigurierbares Sputtersystem, mit dem eine Vielzahl von Dünnschichtmaterialien abgeschieden werden können. Es ist für eine Konfiguration mit einem Ziel oder zwei Zielen konzipiert, wobei letztere eine größere Prozessvielfalt und einen besseren Durchsatz bietet. Zur probenspezifischen Abscheidung können verschiedene Materialien und Targets in einer einzigen Zielkonfiguration kombiniert werden. Jeder Zielhalter ist in der Lage, sich bis zu 180 ° zu drehen, was einen erhöhten Ablagewinkelbereich ermöglicht. Mehrere Substrate können in der Einheit untergebracht werden, von kleinen Stücken bis zu 200mm Wafern. ISI PS 2 ist in der Lage, Schutzschirme sowohl für die Probe als auch für das Substrat zu erzeugen, wodurch Kontaminationen reduziert und die Gleichmäßigkeit bei der Abscheidung erhöht wird. Der Sputterdruck ist von 0,5 - 6 mTorr einstellbar und wird über ein digitales Display überwacht. Heizelemente können in der Maschine verwendet werden, um höhere Abscheideraten und verbesserte lokale Gleichmäßigkeiten zu ermöglichen. PS 2 umfasst auch mehrere Nebentechnologien, einschließlich eines vertieften Kühlmittelanschlusses, eines Quarzkristalls zur Messung der Abscheideraten sowie eines Vorevakuierungswerkzeugs. Das Gerät enthält auch ein Run-and-Monitor-Asset für den Remote-Betrieb und bietet eine Steuerschnittstelle mit integrierten Computersteuerungen für die Datenerfassung und Fehlerbehebung. Insgesamt ist ISI PS 2 ein effizientes und zuverlässiges Sputtermodell, das qualitativ hochwertige, ultradünne Filmschichten in einer Vielzahl von Substratgrößen herstellen kann. Mit seinen einstellbaren Parametern und fortschrittlichen Hilfstechnologien steht PS 2 in der Sputtertechnologie-Industrie Kopf oben.
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