Gebraucht JM IOTA #129082 zu verkaufen
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JM IOTA ist eine Sputterausrüstung, die sowohl dünne als auch dicke Filme ablegen kann. Das System ist eine Dual-Magnetron-Sputtereinheit, die aus zwei Prozesskammern besteht; eine zur Dünnfilmabscheidung und die andere zur Dickfilmabscheidung. Jede Kammer enthält eine eigene Kathode, Stromversorgung, Plenum und HF-Übereinstimmung. Eine UHV-Maschine (Ultra High Vacuum) ist in das Werkzeug integriert, um die Sauberkeit der Kammern zu erhalten. Auf diese Weise können verschiedenste Materialien abgeschieden werden. Die Dünnschichtabscheidekammer ist für kleinere Substrate und Anwendungen ausgelegt, die hohe Reinheit, Gleichmäßigkeit und geringe Partikelverschmutzung erfordern. Es ist in der Lage, Materialien aus Edelmetallen, Legierungen und Polymeren in einem breiten Spektrum von Dicken von Sub-Monoschicht bis zu einigen hundert Nanometern abzuscheiden. Die Dickschichtabscheidekammer ist zur Abscheidung dicker Materialschichten ausgelegt, üblicherweise von einigen hundert Nanometern bis zu mehreren Mikrometern Dicke. In dieser Kammer können alle Metalloxide, Nitride und Karbide abgeschieden werden. Die Kammer ist auch anpassbar, um die Abscheidung eines Legierungsmaterials zu ermöglichen. Beide Kammern verfügen über einstellbare Temperiersysteme, wodurch die Abscheiderate über eine Vielzahl von Materialien exakt gesteuert werden kann. Auf diese Weise können gleichmäßige, wiederholbare Beschichtungen gleichmäßig auf verschiedenen Substraten aufgebracht werden. Neben den regulären Abscheidekammern umfasst IOTA auch eine CVD-Anlage (Chemical Vapor Deposition), die die Abscheidung von Nanokompositfolien ermöglicht. Das CVD-Modell ermöglicht die paarweise Abscheidung von anorganischen und organischen Materialien, um multifunktionale Nanokompositfolien zu erzeugen. Insgesamt ist die JM IOTA Sputterausrüstung ein äußerst vielseitiges Werkzeug zur Abscheidung dünner und dicker Folien. Das breite Spektrum an Materialien und Prozessen, die es aufnehmen kann, bietet Anwendern die Möglichkeit, hochwertige Folien mit minimaler Kontamination zu erstellen.
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