Gebraucht KDF / EMITECH / EMCORE K350G #9075090 zu verkaufen
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ID: 9075090
Power supply
Sputter coating / Glow discharge controller
Plasma voltage: 0 to 1000 V variable DC at 100 mA
Electrode polarity: +DC or -DC with aluminum electrode, 60 mm diameter
Glow discharge lid
Vacuum chamber glass: 165 mm diameter x 125 mm H
HT Vacuum interlock
Needle valve bleed control
Instrument case: 230 mm W x 230 mm D x 175 mm H
Power supply:
230 V, 50 Hz, 6 A max
115 V, 60 Hz, 12 A max.
KDF/EMITECH/EMCORE K350G Sputtergeräte sind ein äußerst vielseitiges Werkzeug zur Beschichtung von Oberflächen mit dünnen Materialschichten. KDF K350G ist mit einem Sieben-Kammer-Vakuumsystem ausgelegt und kann extrem konsistente, gleichmäßige Ablagerungen mit optimaler Geschwindigkeit erzeugen. Das Gerät verwendet hocheffiziente und zuverlässige Magnetronpistolen-Stromquellen sowie eine fortschrittliche Quarz-in-situ-Überwachungsmaschine. Das Kammerdesign ist ideal für dicke und gleichmäßige Beschichtungen von bis zu fünf Zoll (12,7 cm) und einschließlich Materialien wie Wolfram, Tantal und Nickel-Chrom-Legierungen. EMCORE K350G umfasst modulare Quellenhalter, die sowohl für runde als auch rechteckige Ziele geeignet sind. Das Werkzeug sorgt für einen effektiven Materialtransfer auf das Substrat mit geringer Partikelerosion, minimierten Emissionen und niedrigen Stromverbrauchsraten. Auch die Sputterquellen weisen eine starke Reproduzierbarkeit auf, was für eine gleichmäßige Abscheidung unerlässlich ist. EMITECH K350G wurde entwickelt, um eine saubere Umgebung für Sputtern zu erhalten, mit drei installierten Gasauslässen für Wasserstoffglühen, Spülen und Inertgas. Seine große Arbeitsfläche bietet den notwendigen Platz für Beschichtungen mit längeren Arbeitslängen und Standard-Substrathalter für alle Substrate bis zu acht Zoll (20,3 cm) Quadrat. Die Anlage ist mit einem Mitsubishi Roboterarm und einem Kassettenlader für eine bessere Prozessintegration verbunden. K350G ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Sputterwerkzeug zur Erzeugung konsistenter, einheitlicher Beschichtungen. Sein Sieben-Kammer-Design, hocheffiziente Stromquellen, ein präzises In-situ-Überwachungsmodell und benutzerfreundliche Bedienelemente machen dieses Gerät zu einer idealen Lösung für fortschrittliche Sputteranwendungen. Die modularen Quellenhalter, Gasauslässe, Arbeitsbereich und Roboterarm des Systems machen es außergewöhnlich effektiv, um qualitativ hochwertige Beschichtungen aus dicken und dünnen Materialien zu erzielen.
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