Gebraucht KRAUSS MAFFEI Triathlon #9165555 zu verkaufen

KRAUSS MAFFEI Triathlon ist eine Sputteranlage, die von KRAUSS MAFFEI zur Abscheidung von dünnen Folien entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um eine Reihe von Materialien auf Substraten verschiedener Oberflächen wie Glas, Metalle, Kunststoffe und Keramik abzuscheiden. Das Abscheidungssystem besteht aus drei magnetisch angetriebenen Quellen, die jeweils mit zwei Targets ausgestattet sind, die zum Co-Sputtern verwendet werden können. Dies ermöglicht die Abscheidung von bis zu drei Materialien in einem Zyklus, wodurch komplexe, mehrkomponentige Strukturen abgeschieden werden können. Darüber hinaus können die Targets leicht ausgetauscht werden, um die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien zu ermöglichen, einschließlich elementarer Metalle, Legierungen, Oxide und Nitride. Triathlon-Einheit ermöglicht sowohl einstufiges als auch mehrstufiges Sputtern, abhängig von den gewünschten Materialien und Strukturen. Die Sputterquelle enthält eine Prozesskammer, die die horizontalen Sputterquellen aufnimmt, und ein elektrostatisches Hexapol, mit dem das Sputtermaterial auf das Substrat geleitet wird. Die Kammer wird unter Druck gesetzt, um eine optimale Gasströmung für das Sputtern zu erhalten, und wird für eine gleichmäßige Abscheiderate temperaturgeregelt. Die Hauptquelle ist mit einem rotierenden Magnetron ausgestattet, während die beiden anderen Quellen für HF- oder DC-Vorspannung verwendet werden können. Die Zerstäubungsgeschwindigkeit wird mit einem einstellbaren Druckregler gesteuert, um eine gleichmäßige Abscheiderate und Dicke zu erreichen. Die Maschine ist in der Lage, Sputterätzen von Prozessen durchzuführen, um vorhandene Schichten oder Geräte zu reparieren und zu modifizieren. Dadurch kann es für eine Vielzahl von Anwendungen wie chemisch-mechanische Planarisierung (CMP), Oxidation, Glühen und Implantation eingesetzt werden. Das Werkzeug ist mit einem 6-spurigen Prozeßwiederholungsparameter zur automatischen Änderung von Abscheideparametern und einem Schrittmotor zur Fernbedienung ausgestattet. KRAUSS MAFFEI Triathlon ist eine zuverlässige und effiziente Sputteranlage, die eine präzise Kontrolle über Abscheidungsparameter und Materialien bietet. Dies ermöglicht die Schaffung komplexer Mehrkomponentensubstrate und einzigartiger Oberflächenstrukturen, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet sind, darunter Mikroelektronik, optische Beschichtung, Dünnschichtphotovoltaik und Dünnschichttransistoren. Es ist kompakt und kostengünstig macht es auch für eine Vielzahl von Laborumgebungen geeignet.