Gebraucht KURT J. LESKER CMS-18 #9183484 zu verkaufen

KURT J. LESKER CMS-18 ist eine umfassende Sputteranlage, die dünne Filme auf Substraten aufbringt. Es ist eine vielseitige Substrat-Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -Plattform, die es Forschern ermöglicht, Forschung und Entwicklung für eine Vielzahl von Anwendungen durchzuführen. Mit seinen fortschrittlichen Fähigkeiten wie Hochtemperatur, Hochtemperaturabscheidung, bipolarisiertem Elektronenbeschuss und In-situ-Diagnostik ist CMS-18 eine ideale Wahl für Forschung und industrielle Produktion. KURT J. LESKER CMS-18 besteht aus mehreren Modulen, darunter einer Vermessungsstufe, einem Viertaschen-Quellenhalter, einem Hochtemperatur-Quarzsubstratboot, einer Niederdruck-Plasmaquelle (LPPS), einem Gas Flow Control System und einer optomechanischen Kammer. Die Vermessungsstufe ermöglicht es dem Viertaschenquellenhalter, sich mit angetriebenen Achsen in beliebige Positionen zu bewegen, um eine hochgenaue Positionierung des Substrats und anderer Bauteile zu erreichen. Der Viertaschen-Quellenhalter ermöglicht die Abscheidung von vier verschiedenen Targetmaterialien in den gleichen Substratbereich. Dies erhöht die Produktionsfähigkeit erheblich und kann die Produktionszeit reduzieren. Das Hochtemperatur-Quarzsubstratboot wurde speziell entwickelt, um thermische Hochtemperaturprozesse aufrechtzuerhalten. Es kann Temperaturen bis zu 1200 ° C für längere Zeit standhalten. Weiterhin wird das Boot mit einem Quarz- oder pyrolitischen Graphit (pg) -Substrathalter beladen, der eine gut kontrollierte Hochtemperaturumgebung für MBE-Prozesse bietet. Das LPPS wird zur Oberflächenvorbehandlung und Aktivierung der Substrate eingesetzt. Dieses Gerät ermöglicht gleichmäßige Ionenflüsse auf die Zieloberfläche und hilft bei der globalen Oberflächenaktivierung für eine verbesserte Filmhomogenität. Zusätzlich zum LPPS optimiert die Gasstromsteuerung die Parameter des Prozesses weiter. Sie dient zur Einführung und Aufrechterhaltung des Gasdrucks in der optomechanischen Kammer. Der Gasdruck wird gemessen, um die Zerstäubungsgeschwindigkeit und den Abscheideprozess genau auszugleichen und zu steuern. Zur Maximierung der Leistung CMS-18 Maschine ist die optomechanische Kammer mit einem Sichtfenster ausgestattet, das eine Beobachtung und Analyse der Dünnschichtabscheidung in Echtzeit ermöglicht. Die Ergebnisse werden dann verwendet, um die Abscheidungsparameter entsprechend auf die optimale Leistung einzustellen. KURT J. LESKER CMS-18 ist ein robustes und zuverlässiges Werkzeug, das einen vollautomatischen Abscheideprozess für Forschung und industrielle Fertigungsanwendungen bietet. Es bietet alle notwendigen Komponenten, um qualitativ hochwertige dünne Folien genau der gewünschten Anwendung zu erstellen. Es bietet Hochtemperaturbetrieb, verbesserte Abscheideraten, niedrigen Energieverbrauch und eine hohe Präzision. Mit seiner präzisen Steuerung und Flexibilität der Konfiguration ist CMS-18 eine gute Wahl für Anwendungen, die eine Abscheidung von dünnen Folien erfordern.