Gebraucht KURT J. LESKER CMS-18 #9184206 zu verkaufen

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ID: 9184206
Sputtering system Dual chamber with load lock (3) Cathodes in each chamber PLC Process control Substrates: Up to 8” diameter Substrate rotation Substrate bias, RF & DC Substrate heater: Up to 500°C 3” Magnetron sputter cathodes Process gases: Ar, O2, N2 RF & DC Power supplies Co-sputter capability.
KURT J. LESKER CMS-18 ist eine Einstation-Sputteranlage mit hoher Kapazität, die speziell für zuverlässige und wiederholbare Prozesse der Niedertemperatursputterabscheidung entwickelt wurde. Das System verfügt über erweiterte Funktionen, um sowohl traditionelles DC-Magnetron-Sputtern als auch Pulsed-DC (PDC) anzunehmen. Es ist ein vielseitiges Abscheidungswerkzeug, das die Fähigkeit bietet, dünne Filme aus Metallen wie Aluminium, Chrom, Kupfer, Nickel, Gold und Silber zu sputtern. Es eignet sich für akademische, industrielle und Forschungslabore. CMS-18 Einheit besteht aus einer einzigen Hochvolt-Hochspannungsversorgung zum Einschalten des Sputterkopfes, einer Vakuumkammer, einer Vakuumpumpe und einem Satz präziser VDT-Baugruppen (Variable Density Target). Die Stromversorgung ist in der Lage, bis zu vier unabhängige Sputterköpfe mit ausreichender Leistung zu versorgen. Die VDT-Baugruppen gewährleisten eine gleichmäßige und konsistente Sputterabscheidung. Zur Steuerung der Abscheiderate ist ein variabler Shuttle-Lift-Mechanismus vorgesehen, der eine präzise gleichmäßige Zielpositionierung ermöglicht. Die Vakuumkammerkammer ist für einen maximalen Betriebsdruck von 8 mTorr ausgelegt und für den Betrieb sowohl im DC- als auch im PDC-Modus geeignet. Die große Vakuumkammer verfügt über ein oben montiertes Trennventil zur schnellen und sicheren Gasisolierung bei Bedarf oder Bedarf. Die Maschine kommt auch mit erweiterten Prozesskontrollfunktionen wie Temperatur- und Prozessüberwachung. Neben dem Sputterverfahren unterstützt KURT J. LESKER CMS-18 auch die gängigen Substratmaterialien wie Aluminiumoxid, Silizium und andere Abscheidungsmaterialien wie Oxide, Nitride, Carbide, Fluoride und andere Materialien. Das Werkzeug enthält auch eine Gasförderanlage, die weiterhin einen reaktiven Sputterprozess ermöglicht. CMS-18 ist ein hocheffizientes Werkzeug, das sicherstellt, dass alle Prozesse wie der Sputterprozess zuverlässig und wiederholbar sind und die Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Folie drastisch verbessert werden kann. Das Modell wird mit einer benutzerfreundlichen Software geliefert, die dem Bediener Echtzeitinformationen über die Betriebsparameter und den Filmabscheidungsprozess liefert. KURT J. LESKER CMS-18 ist ein ausgezeichnetes und zuverlässiges Werkzeug, das eine Lösung für unterschiedliche Anforderungen an die Artikelabscheidung bietet. Darüber hinaus bietet es eine große Flexibilität und Kontrolle über den Prozess, um die gewünschten Parameter und Qualitätsfolien zu erreichen. Mit seinen ausgezeichneten Eigenschaften bieten CM 18 eine zuverlässige, fortgeschrittene und vielseitige niedrige Temperatur, die Absetzungslösung stottert.
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