Gebraucht KURT J. LESKER Torus 101 #53523 zu verkaufen
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ID: 53523
Magnetron round sputtering source
With ground shields & feedthrus
Diameter: 6 3/8"
Aluminum target.
KURT J. LESKER Torus 101 ist eine Magnetronsputteranlage für Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Das System arbeitet in zwei Modi, DC oder RF, um die Gleichmäßigkeit und Haftung der Beschichtung zu verbessern. Der DC-Modus ist ideal für den Einsatz, wenn die Gleichmäßigkeit der gesputterten Schicht nicht kritisch ist, während der HF-Modus ideal für hochdichte, hochgleichmäßige Materialschichten ist. Die Einheit verfügt über eine variable Gasflussregelung, eine Druckregelung und eine zentrale Verarbeitungseinheit zur präzisen Steuerung von Abscheideraten, Filmdicke und anderen Parametern. Torus 101 verwendet eine ringförmige Magnetronquelle, die hochenergetische Ionen erzeugt, um das Zielmaterial zu sputtern. Diese Konstruktion ermöglicht eine äußerst gleichmäßige Filmabscheidung über die gesamte Fläche eines Substrats. Die Dicke der Abscheidung kann unter Beibehaltung einer gleichmäßigen Folienqualität im HF-Modus variiert werden. Eine Vakuummaschine ist in das Sputterwerkzeug integriert, um während des Prozesses entstehende Gase oder Partikel zu entfernen. Das Asset umfasst einen Temperatursensor und ein Viertelwellen-Matching-Netzwerk zur präzisen Steuerung der Ionenenergie. Das fortschrittliche Stromversorgungsdesign ermöglicht sowohl einen hohen als auch einen niedrigen Strombetrieb. Darüber hinaus ist ein Turbomolekularpumpenmodell in die Anlage integriert, um die gewünschte Substrattemperatur zu erreichen und eine optimale Bohrungsstabilität während der Abscheidung zu erhalten. Darüber hinaus verfügt das fortschrittliche KURT J. LESKER Torus 101 Sputtersystem über eingebettete Diagnosen, mit denen der Benutzer die Leistung der Einheit beurteilen kann. Die Diagnose liefert Informationen über den Zustand des Magnetrons, der Vakuummaschine, der Temperatur, des Gasflusses und anderer Parameter. Um die Präzision weiter zu erhöhen, können Anwender aus einer Vielzahl von anspruchsvollen Rezepten für eine optimale Dünnschichtabscheidung wählen. Torus 101 Sputterwerkzeug ist eine ideale Lösung für schnelle und gleichmäßige Dünnschichtabscheidung sowie für Plasmaätz- und Oxidationsanwendungen. Die Anlage ist so konzipiert, dass sie den Anforderungen jedes mittelgroßen Labors gerecht wird und zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Dank seiner Vielseitigkeit und Präzision eignet es sich für Industrie- und Forschungsanwendungen in den unterschiedlichsten Bereichen wie Mikroelektronik, Optik und Luft- und Raumfahrttechnik.
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